[实用新型]一种半导体研材料打磨用自动上下料机构有效

专利信息
申请号: 202022751111.X 申请日: 2020-11-25
公开(公告)号: CN213730958U 公开(公告)日: 2021-07-20
发明(设计)人: 王董豹;潘鲁滨 申请(专利权)人: 上海宿龙半导体科技有限公司
主分类号: B24B19/22 分类号: B24B19/22;B24B41/00;B24B41/02;B24B55/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201303 上海市浦东*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 材料 打磨 自动 上下 机构
【权利要求书】:

1.一种半导体研材料打磨用自动上下料机构,包括上下料机(1),其特征在于:所述上下料机(1)的上方均焊接有卡块(2),且卡块(2)的内侧连接有第一定位杆(3),所述第一定位杆(3)的外侧连接有液压缸(4),且液压缸(4)的上方安装有第二定位杆(5),所述第二定位杆(5)的外侧连接有支撑块(6),且支撑块(6)的上方安装有延伸杆(7),所述延伸杆(7)的内侧连接有卡栓(8),且卡栓(8)的外侧连接有延伸套(9),所述延伸套(9)的一端设置有第一转轴(10),且第一转轴(10)的一侧设置有扩展机构(11),所述扩展机构(11)的上方连接有第三定位杆(12),且第三定位杆(12)的外侧连接有固定块(13),所述固定块(13)的上方安装有第四定位杆(14),且第四定位杆(14)的外侧连接有软胶片(15),所述软胶片(15)的一侧设置有散热机构(16),且散热机构(16)的内侧安装有微型电机(17),所述微型电机(17)的下方均连接有第五定位杆(18),且第五定位杆(18)的一侧安装有支撑机构(19),同时支撑机构(19)的一侧安装有控制器(20)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体研材料打磨用自动上下料机构,其特征在于:所述卡块(2)与第一定位杆(3)螺纹连接,且卡块(2)的内侧与第一定位杆(3)的外侧均为螺纹状设置。

3.根据权利要求1所述的一种半导体研材料打磨用自动上下料机构,其特征在于:所述延伸杆(7)与卡栓(8)卡合连接,且延伸杆(7)的内侧均为开孔式设计。

4.根据权利要求1所述的一种半导体研材料打磨用自动上下料机构,其特征在于:所述扩展机构(11)包括支撑板(1101)、第二转轴(1102)和延长板(1103),且支撑板(1101)的两端均连接有第二转轴(1102),所述第二转轴(1102)的一侧安装有延长板(1103)。

5.根据权利要求1所述的一种半导体研材料打磨用自动上下料机构,其特征在于:所述第四定位杆(14)与软胶片(15)螺纹连接,且第四定位杆(14)的外侧与软胶片(15)的内侧均为螺纹状设置。

6.根据权利要求1所述的一种半导体研材料打磨用自动上下料机构,其特征在于:所述散热机构(16)包括保护箱(1601)、第三转轴(1602)和散热框(1603),且保护箱(1601)的上方连接有第三转轴(1602),所述第三转轴(1602)的上方连接有散热框(1603)。

7.根据权利要求1所述的一种半导体研材料打磨用自动上下料机构,其特征在于:所述支撑机构(19)包括支撑架(1901)、第六定位杆(1902)和电动推杆(1903),且支撑架(1901)的一侧连接有第六定位杆(1902),所述第六定位杆(1902)的外侧安装有电动推杆(1903)。

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