[实用新型]一种芯片电极层筛印分体式升降定位调节装置有效
| 申请号: | 202022665835.2 | 申请日: | 2020-11-18 |
| 公开(公告)号: | CN213483707U | 公开(公告)日: | 2021-06-18 |
| 发明(设计)人: | 苗伟峰;徐斌;张文振;孔德方;王梦寻 | 申请(专利权)人: | 苏州禾苏传感器科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/02 | 分类号: | H01L21/02 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 215000 江苏省苏州市工*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本实用新型公开一种芯片电极层筛印分体式升降定位调节装置,包括带吸盘支撑台、纵横调节托框、托块组件、上托平台板、分体式升降气推组件、限位梁板、卡位顶板和定位框卡台,纵横调节托框安装在带吸盘支撑台的上顶平面上,托块组件卡装在纵横调节托框内,上托平台板盖装在托块组件上,分体式升降气推组件穿装在托块组件和上托平台板上,限位梁板和定位框卡台都安装在上托平台板上,定位框卡台的上顶面上安装有限位梁板。本实用新型能确保筛印有电极层的氧传感器芯片生胚,整体被稳固限定在生胚托板上,防止生胚托板整体偏移或跑位,保证后续自动连续抓取平移生胚托板,定位准确一致,不偏移不跑位。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 芯片 电极 层筛印分 体式 升降 定位 调节 装置 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





