[实用新型]一种芯片电极层筛印分体式升降定位调节装置有效

专利信息
申请号: 202022665835.2 申请日: 2020-11-18
公开(公告)号: CN213483707U 公开(公告)日: 2021-06-18
发明(设计)人: 苗伟峰;徐斌;张文振;孔德方;王梦寻 申请(专利权)人: 苏州禾苏传感器科技有限公司
主分类号: H01L21/02 分类号: H01L21/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215000 江苏省苏州市工*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开一种芯片电极层筛印分体式升降定位调节装置,包括带吸盘支撑台、纵横调节托框、托块组件、上托平台板、分体式升降气推组件、限位梁板、卡位顶板和定位框卡台,纵横调节托框安装在带吸盘支撑台的上顶平面上,托块组件卡装在纵横调节托框内,上托平台板盖装在托块组件上,分体式升降气推组件穿装在托块组件和上托平台板上,限位梁板和定位框卡台都安装在上托平台板上,定位框卡台的上顶面上安装有限位梁板。本实用新型能确保筛印有电极层的氧传感器芯片生胚,整体被稳固限定在生胚托板上,防止生胚托板整体偏移或跑位,保证后续自动连续抓取平移生胚托板,定位准确一致,不偏移不跑位。
搜索关键词: 一种 芯片 电极 层筛印分 体式 升降 定位 调节 装置
【主权项】:
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