[实用新型]一种具有真空吸附结构的传送装置

摘要

本实用新型公开了一种具有真空吸附结构的传送装置，包括装置本体和吸附机构，当硅片装到放置板的上端时，启动真空泵，使真空泵通过抽气管线将放置板内腔的空气抽出，使放置板的内部形成真空腔，硅片装在放置板的上端，通过吸附顶板和吸附孔进行吸附固定，吸附顶板通过四角下端的插板，插在插紧块组件的内腔进行固定，操作人员可以率先将抽杆向外侧拉动，从而使抽杆带动定位杆将压板和铁质卡板向一侧挤压缓冲弹簧，当插板通过插槽插入插紧块组件的内腔后，操作人员只需松开抽杆，使铁质卡板回弹插入插板内的通槽进行固定即可，简单便捷，铁质卡板与磁吸块进行吸附固定，增强铁质卡板插入通槽后的双重固定效果。