[实用新型]一种带有刷洗功能的半导体加工用清洗装置有效
| 申请号： | 202022189757.3 | 申请日： | 2020-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN213558589U | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 李硕 | 申请（专利权）人： | 广州市本源投资咨询有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00;B08B3/02;B08B3/08;B08B13/00 |
| 代理公司： | 广州科捷知识产权代理事务所(普通合伙) 44560 | 代理人： | 袁嘉恩 |
| 地址： | 510000 广东省广州市黄*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种带有刷洗功能的半导体加工用清洗装置，属于半导体加工装置技术领域，包括底板、支柱、顶板、驱动机构、存储机构和刷洗机构，所述底板的上表面通过支柱与顶板的下表面固定连接，支柱的外表面套设有多个滑套，滑套的左侧面固定连接有两个第二固定片，两个第二固定片之间铰接有连接杆，连接杆的另一端铰接在两个第一固定片之间。本实用新型中，通过设置滑套、连接杆和存储机构，滑套可以带动连接杆的一端上下移动，连接杆的另一端可以带动存储机构左右移动，可以向存储机构上喷淋清洗液，在清洗液的配合作用下，半导体材料的被清洗效果更好，且刷洗的过程中也会导致半导体材料出现晃动剧烈碰撞的情况，不会导致半导体材料损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带有 刷洗 功能 半导体 工用 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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