[实用新型]一种带有刷洗功能的半导体加工用清洗装置

说明书

本实用新型公开了一种带有刷洗功能的半导体加工用清洗装置，属于半导体加工装置技术领域，包括底板、支柱、顶板、驱动机构、存储机构和刷洗机构，所述底板的上表面通过支柱与顶板的下表面固定连接，支柱的外表面套设有多个滑套，滑套的左侧面固定连接有两个第二固定片，两个第二固定片之间铰接有连接杆，连接杆的另一端铰接在两个第一固定片之间。本实用新型中，通过设置滑套、连接杆和存储机构，滑套可以带动连接杆的一端上下移动，连接杆的另一端可以带动存储机构左右移动，可以向存储机构上喷淋清洗液，在清洗液的配合作用下，半导体材料的被清洗效果更好，且刷洗的过程中也会导致半导体材料出现晃动剧烈碰撞的情况，不会导致半导体材料损坏。

技术领域

本实用新型属于半导体加工装置技术领域，尤其涉及一种带有刷洗功能的半导体加工用清洗装置。

背景技术

半导体是电阻率介于金属和绝缘体之间并有负的电阻温度系数的物质，具有可控导电率的功能，半导体在加工时需要对其进行清洗，然而现有的清洗装置还是将大量半导体材料放置在清洗框内，控制清洗框在水中晃动进行清洗，但是这样清洗时可能会导致半导体材料相互碰撞，如果半导体材料因为碰撞受损则会对影响后续售卖，且单纯的用水流冲洗清洗效果也不太好。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：为了解决现有清洗装置清洗时可能会导致半导体材料相互产生碰撞，且清洗效果不好的问题，而提出的一种带有刷洗功能的半导体加工用清洗装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种带有刷洗功能的半导体加工用清洗装置，包括底板、支柱、顶板、驱动机构、存储机构和刷洗机构，所述底板的上表面通过支柱与顶板的下表面固定连接，支柱的外表面套设有多个滑套，所述滑套的左侧面固定连接有两个第二固定片，两个第二固定片之间铰接有连接杆，连接杆的另一端铰接在两个第一固定片之间，第一固定片固定连接在存储机构的右侧面，所述存储机构设置在刷洗机构内，且刷洗机构固定连接在底板的上表面；

所述滑套固定连接在侧板的左侧面，侧板的右侧面固定连接有挡板，挡板的右侧设置有驱动机构，驱动机构设置在顶板上，所述支柱的外表面套设有弹簧，弹簧的两端分别与滑套的下表面和底板的上表面固定连接。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述存储机构包括与第一固定片固定连接的收集盒，收集盒的上表面铰接有盖板，收集盒和盖板的相对面分别设置有第二过滤网和第一过滤网。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述收集盒的上表面开设有通孔，通孔内设置有把手，所述把手的下表面固定连接有连接板，连接板的左侧面固定连接有固定杆，固定杆的上表面和下表面均固定连接有第一刷毛。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述刷洗机构包括固定连接在底板上的龙门架，龙门架内固定连接有多个矩形框，多个矩形框从上往下均匀排列设置，矩形框内壁的上表面和下表面均设置有第二刷毛，所述矩形框下表面的前后两侧均贴合有支撑板，两个支撑板分别固定连接在龙门架内壁的正面和背面。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述驱动机构包括固定连接在顶板上的固定板，固定板贯穿顶板的上表面并延伸至顶板的下侧，所述固定板的背面转动连接有第一传动轮和第二传动轮，第一传动轮与第二传动轮之间通过皮带传动连接，且皮带穿过顶板上表面开设的限位孔。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述第一传动轮的背面与电机的输出轴固定连接，电机固定安装在顶板的上表面，所述第二传动轮的背面固定连接有转盘，转盘的外表面固定连接有推板，推板位于挡板的下侧。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：