[实用新型]一种带有刷洗功能的半导体加工用清洗装置

权利要求书

1.一种带有刷洗功能的半导体加工用清洗装置，包括底板(2)、支柱(1)、顶板(4)、驱动机构(12)、存储机构(8)和刷洗机构(9)，其特征在于，所述底板(2)的上表面通过支柱(1)与顶板(4)的下表面固定连接，支柱(1)的外表面套设有多个滑套(3)，所述滑套(3)的左侧面固定连接有两个第二固定片，两个第二固定片之间铰接有连接杆(6)，连接杆(6)的另一端铰接在两个第一固定片(7)之间，第一固定片(7)固定连接在存储机构(8)的右侧面，所述存储机构(8)设置在刷洗机构(9)内，且刷洗机构(9)固定连接在底板(2)的上表面；

所述滑套(3)固定连接在侧板(10)的左侧面，侧板(10)的右侧面固定连接有挡板(11)，挡板(11)的右侧设置有驱动机构(12)，驱动机构(12)设置在顶板(4)上，所述支柱(1)的外表面套设有弹簧(5)，弹簧(5)的两端分别与滑套(3)的下表面和底板(2)的上表面固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种带有刷洗功能的半导体加工用清洗装置，其特征在于，所述存储机构(8)包括与第一固定片(7)固定连接的收集盒(81)，收集盒(81)的上表面铰接有盖板，收集盒(81)和盖板的相对面分别设置有第二过滤网(85)和第一过滤网(82)。

3.根据权利要求2所述的一种带有刷洗功能的半导体加工用清洗装置，其特征在于，所述收集盒(81)的上表面开设有通孔(83)，通孔(83)内设置有把手(84)，所述把手(84)的下表面固定连接有连接板，连接板的左侧面固定连接有固定杆(86)，固定杆(86)的上表面和下表面均固定连接有第一刷毛(87)。

4.根据权利要求1所述的一种带有刷洗功能的半导体加工用清洗装置，其特征在于，所述刷洗机构(9)包括固定连接在底板(2)上的龙门架(94)，龙门架(94)内固定连接有多个矩形框(92)，多个矩形框(92)从上往下均匀排列设置，矩形框(92)内壁的上表面和下表面均设置有第二刷毛(91)，所述矩形框(92)下表面的前后两侧均贴合有支撑板(93)，两个支撑板(93)分别固定连接在龙门架(94)内壁的正面和背面。

5.根据权利要求1所述的一种带有刷洗功能的半导体加工用清洗装置，其特征在于，所述驱动机构(12)包括固定连接在顶板(4)上的固定板(121)，固定板(121)贯穿顶板(4)的上表面并延伸至顶板(4)的下侧，所述固定板(121)的背面转动连接有第一传动轮(122)和第二传动轮(123)，第一传动轮(122)与第二传动轮(123)之间通过皮带(128)传动连接，且皮带(128)穿过顶板(4)上表面开设的限位孔(126)。

6.根据权利要求5所述的一种带有刷洗功能的半导体加工用清洗装置，其特征在于，所述第一传动轮(122)的背面与电机(127)的输出轴固定连接，电机(127)固定安装在顶板(4)的上表面，所述第二传动轮(123)的背面固定连接有转盘(124)，转盘(124)的外表面固定连接有推板(125)，推板(125)位于挡板(11)的下侧。