[实用新型]镀膜腔体及粉末镀膜装置有效

专利信息
申请号: 202021882143.7 申请日: 2020-09-01
公开(公告)号: CN212688174U 公开(公告)日: 2021-03-12
发明(设计)人: 李翔;邹嘉宸;王荣;黎微明 申请(专利权)人: 江苏微导纳米科技股份有限公司
主分类号: C23C16/442 分类号: C23C16/442;C23C16/455
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 周昭
地址: 214000 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及一种粉末镀膜装置及镀膜腔体,从进气端口充入流化气,可使粉末得到较高的初速度并流化。由于在由进气端口到出气端口的方向上,内腔体的过流断面的面积呈增大的趋势。根据流体方程,进气端口到出气端口的方向上气体流速将呈递减趋势。当流速下降至一定程度后,被扬起的粉末将逐步开始沉降,并在靠近进气端口时再次被扬起。因此,粉末将在有限的高度内形成内循环,从而增加粉末颗粒间的相互作用,减少团聚。同时,由于粉末扬起的高度有限,故能避免粉末触及并吸附于出气端口。而且,形成内循环的粉末增加了对腔壁的冲击,还减少了腔壁上吸附的粉末。因此,镀膜的均匀性得以显著提升。
搜索关键词: 镀膜 粉末 装置
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