[实用新型]镀膜腔体及粉末镀膜装置有效
申请号: | 202021882143.7 | 申请日: | 2020-09-01 |
公开(公告)号: | CN212688174U | 公开(公告)日: | 2021-03-12 |
发明(设计)人: | 李翔;邹嘉宸;王荣;黎微明 | 申请(专利权)人: | 江苏微导纳米科技股份有限公司 |
主分类号: | C23C16/442 | 分类号: | C23C16/442;C23C16/455 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 周昭 |
地址: | 214000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 镀膜 粉末 装置 | ||
1.一种镀膜腔体,包括内腔体,其特征在于,所述内腔体的轴向的两端分别形成有进气端口及出气端口,待镀膜的粉末可收容于所述内腔体靠近所述进气端口的一端,且在由所述进气端口到所述出气端口的方向上,所述内腔体的过流断面的面积呈增大的趋势。
2.根据权利要求1所述的镀膜腔体,其特征在于,所述内腔体包括第一直管段、第二直管段及锥管段,所述第一直管段的内径小于所述第二直管段的内径,且所述第一直管段及所述第二直管段分别与所述锥管段的小端及大端连通,所述进气端口及所述出气端口分别设于所述第一直管段及所述第二直管段,所述待镀膜的粉末可收容于所述第一直管段。
3.根据权利要求2所述的镀膜腔体,其特征在于,所述内腔体的高度为50毫米至800毫米,所述第一直管段的直径为20毫米至100毫米,且所述第一直管段的高度为10毫米至150毫米,所述锥管段的高度为30毫米至400毫米,且所述锥管段的二分之一锥角为15度至45度。
4.根据权利要求1所述的镀膜腔体,其特征在于,还包括外腔体,所述内腔体收容于所述外腔体内,且所述出气端口与所述外腔体连通,所述外腔体远离所述出气端口的一端形成有排气端口。
5.根据权利要求1所述的镀膜腔体,其特征在于,还包括可驱使所述内腔体振动的振动机构。
6.根据权利要求4所述的镀膜腔体,其特征在于,还包括可驱使所述内腔体相对于所述外腔体振动的振动机构,所述振动机构包括:
振动源;
连杆,穿设于所述外腔体且两端分别与所述内腔体的外壁及所述振动源固定连接;及
波纹管,套设于所述连杆,所述波纹管的两端分别与所述内腔体的外壁及所述外腔体的内壁密封连接。
7.一种粉末镀膜装置,其特征在于,包括:
如上述权利要求1至6任一项所述的镀膜腔体;
气路系统,与所述进气端口连通,并用于向所述内腔体内充入气体;
加热系统,用于对所述镀膜腔体及所述气路系统加热;及
抽气机构,与所述镀膜腔体连通,并经所述出气端口对所述内腔体进行抽气。
8.根据权利要求7所述的粉末镀膜装置,其特征在于,还包括设于所述抽气机构与所述镀膜腔体之间的废气处理机构。
9.根据权利要求7所述的粉末镀膜装置,其特征在于,所述抽气机构对所述内腔体进行抽气的抽气速率可调。
10.根据权利要求9所述的粉末镀膜装置,其特征在于,所述抽气机构包括真空泵及设于所述真空泵与所述镀膜腔体之间的蝶阀。
11.根据权利要求9所述的粉末镀膜装置,其特征在于,所述抽气机构包括真空泵、与所述真空泵并联且可开启或关闭的排气旁路,所述排气旁路的排气速率小于所述真空泵的抽气速率。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的