[实用新型]MEMS芯片测试插座上盖及插座有效
| 申请号： | 202021790863.0 | 申请日： | 2020-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN213364820U | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 邹波;王苏江 | 申请（专利权）人： | 深迪半导体（绍兴）有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R31/28;H01R25/00;H01R13/502 |
| 代理公司： | 上海剑秋知识产权代理有限公司 31382 | 代理人： | 杨飞 |
| 地址： | 312030 浙江省绍兴市柯桥区柯桥*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种MEMS芯片测试插座上盖及插座，其中MEMS芯片测试插座上盖包括基座、活动部件、限位件和弹性组件；所述限位件固定在所述基座上并与所述基座限定了活动空间，所述活动空间限定了延伸方向；所述活动部件被设置在所述活动空间中，并且所述活动部件可在所述活动空间中沿所述延伸方向活动；所述弹性组件分别抵靠所述基座和所述活动部件，所述弹性组件提供弹性力使所述活动部件远离所述基座；所述活动部件沿所述延伸方向的厚度可调。 | ||
| 搜索关键词： | mems 芯片 测试 插座 | ||
【主权项】：
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