[实用新型]MEMS芯片测试插座上盖及插座

说明书

本实用新型提供了一种MEMS芯片测试插座上盖及插座，其中MEMS芯片测试插座上盖包括基座、活动部件、限位件和弹性组件；所述限位件固定在所述基座上并与所述基座限定了活动空间，所述活动空间限定了延伸方向；所述活动部件被设置在所述活动空间中，并且所述活动部件可在所述活动空间中沿所述延伸方向活动；所述弹性组件分别抵靠所述基座和所述活动部件，所述弹性组件提供弹性力使所述活动部件远离所述基座；所述活动部件沿所述延伸方向的厚度可调。

技术领域

本实用新型涉及MEMS芯片测试领域，尤其涉及一种MEMS芯片测试插座上盖及插座。

背景技术

微机电系统(Micro Electro Mechanical System，MEMS)是利用集成电路制造技术和微加工技术把微结构、微传感器、控制处理电路甚至接口、通信和电源等制造在一块或多块芯片上的微型集成系统。在对MEMS芯片进行测试的过程中，通常需要通过测试插座固定在测试用PCB板上，并通过探针与PCB板连通。

随着MEMS芯片的不断改进和创新，对于芯片的测试条件也提出了更多的要求，与之相应地，本领域技术人员也致力于通过改进MEMS芯片测试插座来满足和丰富更多的测试要求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种适于在测试时调整MEMS芯片所受应力的MEMS芯片测试插座以及插座的上盖，从而可获得MEMS芯片在不同应力条件下的测试数据。

本实用新型提供的一种MEMS芯片测试插座上盖，其包括基座、活动部件、限位件和弹性组件；所述限位件固定在所述基座上并与所述基座限定了活动空间，所述活动空间限定了延伸方向；所述活动部件被设置在所述活动空间中，并且所述活动部件可在所述活动空间中沿所述延伸方向活动；所述弹性组件分别抵靠所述基座和所述活动部件，所述弹性组件提供弹性力使所述活动部件远离所述基座；所述活动部件沿所述延伸方向的厚度可调。

进一步地，所述活动部件包括至少一片垫片，通过调整所述垫片的厚度和/或数量以改变所述活动部件的厚度。

进一步地，所述垫片包括一种或一种以上的厚度规格。

进一步地，所述活动部件还包括盖体和垫块，所述盖体、所述垫片和所述垫块依次层叠设置并且可拆卸地固定连接，所述垫块设置在靠近所述基座的一侧。

进一步地，所述盖体远离所述基座一侧设置有凸台。

进一步地，所述凸台上设置有凸起。

进一步地，所述基座包括第一限位结构，所述垫块包括第二限位结构，所述第一限位结构与所述第二限位结构相配合限定了所述弹性组件的安装位置。

本实用新型还提供了一种MEMS芯片测试插座上盖，其包括基座，所述基座上设置有若干结构单元，所述结构单元包括活动部件、限位件和弹性组件；所述限位件固定在所述基座上并与所述基座限定了活动空间，所述活动空间限定了延伸方向；所述活动部件被设置在所述活动空间中，并且所述活动部件可在所述活动空间中沿所述延伸方向活动；所述弹性组件分别抵靠所述基座和所述活动部件，所述弹性组件提供弹性力使所述活动部件远离所述基座；所述活动部件沿所述延伸方向的厚度可调。

进一步地，所述若干结构单元呈阵列式分布。

本实用新型提供的一种MEMS芯片测试插座，其包括上述的MEMS芯片测试插座上盖。

本实用新型的MEMS芯片测试插座上盖及插座，适于在芯片测试时，调整芯片上的受力状况，从而获得芯片在不同应力状态下的测试数据。本实施例的结构易于实现，厚度调节简便，调节的精度也便于控制。在大批量测试生产中，采用本实用新型的具有阵列结构单元的MEMS芯片测试插座上盖及插座，在可以不影响生产效率的前提下，即实现芯片在多种应力状态下的测试。