[实用新型]中空阴极中和器及离子源装置有效
| 申请号： | 202021512729.4 | 申请日： | 2020-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN212725221U | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 刘伟基;冀鸣;赵刚;易洪波;吴秋生 | 申请（专利权）人： | 中山市博顿光电科技有限公司;佛山市博顿光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/30 | 分类号： | H01J37/30;H01J37/08 |
| 代理公司： | 北京市立方律师事务所 11330 | 代理人： | 刘延喜 |
| 地址： | 528400 广东省中山市火*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种中空阴极中和器和离子源装置，中空阴极中和器包括：阴极管、后端部和前端部；所述后端部包括后固定座以及一端与该后固定座连接的筒体；所述阴极管置于所述筒体内部，且通过安装组件安装在所述后固定座内；所述前端部包括前固定座、端盖和维持片，所述前固定座套在所述筒体的另一端上，所述阴极的管口与所述维持片上的圆孔对准；所述后固定座内置有连接所述阴极管的通气管道，所述后固定座与前固定座通过定位片进行固定连接。本申请的中空阴极中和器及离子源装置，在安装时便于将阴极的管口与维持片上的圆孔对准，从而降低安装要求，简化了安装流程。 | ||
| 搜索关键词： | 中空 阴极 中和 离子源 装置 | ||
【主权项】：
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