[实用新型]中空阴极中和器及离子源装置

说明书

本申请涉及一种中空阴极中和器和离子源装置，中空阴极中和器包括：阴极管、后端部和前端部；所述后端部包括后固定座以及一端与该后固定座连接的筒体；所述阴极管置于所述筒体内部，且通过安装组件安装在所述后固定座内；所述前端部包括前固定座、端盖和维持片，所述前固定座套在所述筒体的另一端上，所述阴极的管口与所述维持片上的圆孔对准；所述后固定座内置有连接所述阴极管的通气管道，所述后固定座与前固定座通过定位片进行固定连接。本申请的中空阴极中和器及离子源装置，在安装时便于将阴极的管口与维持片上的圆孔对准，从而降低安装要求，简化了安装流程。

技术领域

本申请涉及离子源技术领域，尤其是一种中空阴极中和器及离子源装置。

背景技术

离子源是一门用途广，类型多、涉及科学多、工艺技术性强、发展十分迅速的应用科学技术。离子源需要使用阴极中和器，阴极中和器通过高温金属表面产生大量的自由电子，再通过电场作用形成电子束流，在离子源工作的过程中起到辅助电离和中和离子电荷的作用。

现有的一种中空阴极中和器，参考图1，图1是现有一种中空阴极中和器结构示意图，包括阴极本体1，设置在阴极本体1内的中空阴极管2，中空阴极管2通过一连接件9设置在阴极本体1内，阴极本体1的一端设置前盖3，另一端对应设置有后盖4，前盖3内设置有一维持极5，后盖5处设置有用于与中空阴极管2相连通的惰性气体输送管道6，中空阴极管2与惰性气体输送管道6上均套设有采用陶瓷材料制成的陶瓷隔离件7。上述中空阴极中和器，在安装的时候，必须要求维持极5中间的圆孔和中空阴极管2的管口充分对准，对安装要求比较高，不易操作。

实用新型内容

本申请的目的旨在解决上述的技术缺陷之一，特别是对安装要求比较高，不易操作的缺陷，提供一种中空阴极中和器及离子源装置。

本申请提供一种中空阴极中和器，用于离子源装置，包括：阴极管、后端部和前端部；

所述后端部包括后固定座以及一端与该后固定座连接的筒体；所述阴极管置于所述筒体内部，且通过安装组件安装在所述后固定座内；

所述前端部包括前固定座、端盖和维持片，所述前固定座套在所述筒体的另一端上，所述阴极的管口与所述维持片上的圆孔对准；所述后固定座内置有连接所述阴极管的通气管道，所述后固定座与前固定座通过定位片进行固定连接。

在一个实施例中，所述后固定座与前固定上分别设置有螺丝底座，所述定位片通过螺丝固定在所述螺丝底座上。

在一个实施例中，所述螺丝套有陶瓷支撑柱，位于所述定位片两侧，用于隔热。

在一个实施例中，所述定位片的数量为三个，分别设于所述后端部和前端部的两侧和顶部位置。

在一个实施例中所述的中空阴极中和器还包括安装支架，所述安装支架通过螺丝与所述前固定座的下部固定连接；其中，所述定位片的形状设置为长条状。

在一个实施例中所述的中空阴极中和器还包括安装支架，所述安装支架连接在设于所述后端部和前端部的两侧的定位片上；其中，设于所述后端部和前端部的两侧的定位片的形状为面板状。

在一个实施例中，所述通气管道上还串接有气体隔离器，所述气体隔离器通过可拆卸方式连接在通气管道上。

在一个实施例中，所述通气管道还通过隔离构件固定在所述安装支架上。

在一个实施例中，所述通气管道以直角形状布置在所述后固定座内部。

本申请还提供一种离子源装置，包括如上述的中空阴极中和器。

本申请的中空阴极中和器及离子源装置，设计了后端部和前端部的组合结构；后端部的后固定座与前端部的前固定通过定位片进行固定连接，在安装时便于将阴极的管口与维持片上的圆孔对准，从而降低安装要求，简化了安装流程。