[实用新型]中空阴极中和器及离子源装置

权利要求书

1.一种中空阴极中和器，用于离子源装置，其特征在于，包括：阴极管、后端部和前端部；

所述后端部包括后固定座以及一端与该后固定座连接的筒体；所述阴极管置于所述筒体内部，且通过安装组件安装在所述后固定座内；

所述前端部包括前固定座、端盖和维持片，所述前固定座套在所述筒体的另一端上，所述阴极管的管口与所述维持片上的圆孔对准；所述后固定座内置有连接所述阴极管的通气管道，所述后固定座与前固定座通过定位片进行固定连接。

2.根据权利要求1所述的中空阴极中和器，其特征在于，所述后固定座与前固定座上分别设置有螺丝底座，所述定位片通过螺丝固定在所述螺丝底座上。

3.根据权利要求2所述的中空阴极中和器，其特征在于，所述螺丝套有陶瓷支撑柱，位于所述定位片两侧，用于隔热。

4.根据权利要求1所述的中空阴极中和器，其特征在于，所述定位片的数量为三个，分别设于所述后端部和前端部的两侧和顶部位置。

5.根据权利要求4所述的中空阴极中和器，其特征在于，还包括安装支架，所述安装支架通过螺丝与所述前固定座的下部固定连接；其中，所述定位片的形状设置为长条状。

6.根据权利要求4所述的中空阴极中和器，其特征在于，还包括安装支架，所述安装支架连接在设于所述后端部和前端部的两侧的定位片上；其中，设于所述后端部和前端部的两侧的定位片的形状为面板状。

7.根据权利要求5或6所述的中空阴极中和器，其特征在于，所述通气管道上还串接有气体隔离器，所述气体隔离器通过可拆卸方式连接在通气管道上。

8.根据权利要求7所述的中空阴极中和器，其特征在于，所述通气管道还通过隔离构件固定在所述安装支架上。

9.根据权利要求1所述的中空阴极中和器，其特征在于，所述通气管道以直角形状布置在所述后固定座内部。

10.一种离子源装置，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的中空阴极中和器。