[实用新型]一种硅片清洗花篮有效
| 申请号： | 202021430217.3 | 申请日： | 2020-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN212625518U | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 高培成 | 申请（专利权）人： | 山东民峰智能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 济南鼎信专利商标代理事务所(普通合伙) 37245 | 代理人： | 曹玉琳 |
| 地址： | 250200 山东省济南市明水经*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片清洗花篮，涉及硅片生产技术领域，包括花篮本体，所述花篮本体内壁的两侧均开设有连接槽，所述连接槽内部均放置有固定块，所述固定块远离连接槽的一端均固定连接有固定台，所述花篮本体靠近固定块的一侧均开设有解锁槽，本实用新型的有益效果为：该硅片清洗花篮，通过设置有永磁铁、电磁铁以及夹板，当需要固定硅片时，操作人员将硅片放置在凹槽上，操作人员通过外设控制设备启动电磁铁，电磁铁与永磁铁之间产生相吸的磁场，永磁铁带动夹板向硅片方向移动，直到将硅片固定住，本花篮能够适应不同直径硅片的固定清洗需要，本花篮的适用性较广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 清洗 花篮 | ||
【主权项】：
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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