[实用新型]一种硅片清洗花篮有效
| 申请号: | 202021430217.3 | 申请日: | 2020-07-20 |
| 公开(公告)号: | CN212625518U | 公开(公告)日: | 2021-02-26 |
| 发明(设计)人: | 高培成 | 申请(专利权)人: | 山东民峰智能科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
| 代理公司: | 济南鼎信专利商标代理事务所(普通合伙) 37245 | 代理人: | 曹玉琳 |
| 地址: | 250200 山东省济南市明水经*** | 国省代码: | 山东;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 硅片 清洗 花篮 | ||
1.一种硅片清洗花篮,包括花篮本体(1),其特征在于:所述花篮本体(1)内壁的两侧均开设有连接槽(2),所述连接槽(2)内部均放置有固定块(3),所述固定块(3)远离连接槽(2)的一端均固定连接有固定台(4),所述花篮本体(1)靠近固定块(3)的一侧均开设有解锁槽(5),所述花篮本体(1)的内部远离解锁槽(5)的一侧开设有移动槽(6),所述花篮本体(1)的内部且位于移动槽(6)的一侧开设有卡接槽(7),所述花篮本体(1)的内部且位于解锁槽(5)的下方开设有滑块(15),所述解锁槽(5)的内腔滑动连接有解锁块(8),所述花篮本体(1)内部且位于解锁槽(5)的一侧均开设有滑动槽(13),所述滑动槽(13)内腔的一侧固定连接有连接弹簧(14),所述连接弹簧(14)的一端固定连接有滑块(15),所述滑块(15)的一侧与解锁块(8)的一侧固定连接,所述卡接槽(7)内腔的一侧滑动连接有卡接柱(9),所述卡接柱(9)远离固定块(3)的一侧均固定连接有移动杆(10),所述卡接槽(7)的内腔且位于移动杆(10)的外侧滑动连接有卡接弹簧(11),所述移动杆(10)远离卡接柱(9)的一端延伸至移动杆(10)的内部并固定连接有连接绳(12),所述连接绳(12)的一端与解锁块(8)的一侧固定连接,所述固定块(3)靠近卡接柱(9)的一侧开设有卡槽(16),所述卡接柱(9)的一端延伸至卡槽(16)的内部,所述固定台(4)的内部开设有固定槽(17),所述固定台(4)的顶部开设有凹槽(18),所述固定槽(17)的中部固定连接有电磁铁(19),所述固定槽(17)内腔的两侧均固定连接有复位弹簧(21),所述复位弹簧(21)靠近电磁铁(19)的一端均固定连接有夹板(22),所述夹板(22)的顶部穿过固定槽(17)并延伸至凹槽(18)的上方,所述夹板(22)位于固定槽(17)内部的一侧均固定连接有永磁铁(20)。
2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗花篮,其特征在于:所述夹板(22)位于凹槽(18)上方的一侧均固定安装有橡胶垫。
3.根据权利要求1所述的一种硅片清洗花篮,其特征在于:所述夹板(22) 的底端与固定槽(17)内腔的底部滑动连接,所述永磁铁(20)与电磁铁(19)磁性相吸。
4.根据权利要求1所述的一种硅片清洗花篮,其特征在于:所述花篮本体(1)的外侧均开设有渗入孔(23),所述花篮本体(1)相对应的两侧均固定安装有提手。
5.根据权利要求1所述的一种硅片清洗花篮,其特征在于:所述卡接柱(9)远离移动杆(10)一端的形状大小与卡槽(16)的形状大小相匹配。
6.根据权利要求1所述的一种硅片清洗花篮,其特征在于:所述移动杆(10)的外侧与移动槽(6)的内部滑动连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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