[实用新型]一种硅片清洗花篮有效

专利信息
申请号: 202021430217.3 申请日: 2020-07-20
公开(公告)号: CN212625518U 公开(公告)日: 2021-02-26
发明(设计)人: 高培成 申请(专利权)人: 山东民峰智能科技有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673
代理公司: 济南鼎信专利商标代理事务所(普通合伙) 37245 代理人: 曹玉琳
地址: 250200 山东省济南市明水经*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 硅片 清洗 花篮
【权利要求书】:

1.一种硅片清洗花篮,包括花篮本体(1),其特征在于:所述花篮本体(1)内壁的两侧均开设有连接槽(2),所述连接槽(2)内部均放置有固定块(3),所述固定块(3)远离连接槽(2)的一端均固定连接有固定台(4),所述花篮本体(1)靠近固定块(3)的一侧均开设有解锁槽(5),所述花篮本体(1)的内部远离解锁槽(5)的一侧开设有移动槽(6),所述花篮本体(1)的内部且位于移动槽(6)的一侧开设有卡接槽(7),所述花篮本体(1)的内部且位于解锁槽(5)的下方开设有滑块(15),所述解锁槽(5)的内腔滑动连接有解锁块(8),所述花篮本体(1)内部且位于解锁槽(5)的一侧均开设有滑动槽(13),所述滑动槽(13)内腔的一侧固定连接有连接弹簧(14),所述连接弹簧(14)的一端固定连接有滑块(15),所述滑块(15)的一侧与解锁块(8)的一侧固定连接,所述卡接槽(7)内腔的一侧滑动连接有卡接柱(9),所述卡接柱(9)远离固定块(3)的一侧均固定连接有移动杆(10),所述卡接槽(7)的内腔且位于移动杆(10)的外侧滑动连接有卡接弹簧(11),所述移动杆(10)远离卡接柱(9)的一端延伸至移动杆(10)的内部并固定连接有连接绳(12),所述连接绳(12)的一端与解锁块(8)的一侧固定连接,所述固定块(3)靠近卡接柱(9)的一侧开设有卡槽(16),所述卡接柱(9)的一端延伸至卡槽(16)的内部,所述固定台(4)的内部开设有固定槽(17),所述固定台(4)的顶部开设有凹槽(18),所述固定槽(17)的中部固定连接有电磁铁(19),所述固定槽(17)内腔的两侧均固定连接有复位弹簧(21),所述复位弹簧(21)靠近电磁铁(19)的一端均固定连接有夹板(22),所述夹板(22)的顶部穿过固定槽(17)并延伸至凹槽(18)的上方,所述夹板(22)位于固定槽(17)内部的一侧均固定连接有永磁铁(20)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗花篮,其特征在于:所述夹板(22)位于凹槽(18)上方的一侧均固定安装有橡胶垫。

3.根据权利要求1所述的一种硅片清洗花篮,其特征在于:所述夹板(22) 的底端与固定槽(17)内腔的底部滑动连接,所述永磁铁(20)与电磁铁(19)磁性相吸。

4.根据权利要求1所述的一种硅片清洗花篮,其特征在于:所述花篮本体(1)的外侧均开设有渗入孔(23),所述花篮本体(1)相对应的两侧均固定安装有提手。

5.根据权利要求1所述的一种硅片清洗花篮,其特征在于:所述卡接柱(9)远离移动杆(10)一端的形状大小与卡槽(16)的形状大小相匹配。

6.根据权利要求1所述的一种硅片清洗花篮,其特征在于:所述移动杆(10)的外侧与移动槽(6)的内部滑动连接。

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