[实用新型]一种硅片清洗花篮

说明书

本实用新型公开了一种硅片清洗花篮，涉及硅片生产技术领域，包括花篮本体，所述花篮本体内壁的两侧均开设有连接槽，所述连接槽内部均放置有固定块，所述固定块远离连接槽的一端均固定连接有固定台，所述花篮本体靠近固定块的一侧均开设有解锁槽，本实用新型的有益效果为：该硅片清洗花篮，通过设置有永磁铁、电磁铁以及夹板，当需要固定硅片时，操作人员将硅片放置在凹槽上，操作人员通过外设控制设备启动电磁铁，电磁铁与永磁铁之间产生相吸的磁场，永磁铁带动夹板向硅片方向移动，直到将硅片固定住，本花篮能够适应不同直径硅片的固定清洗需要，本花篮的适用性较广。

技术领域

本实用新型涉及硅片生产技术领域，具体为一种硅片清洗花篮。

背景技术

半导体器件生产中硅片须经严格清洗。微量污染也会导致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物。这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面。清除污染的方法有物理清洗和化学清洗两种。其中会需要使用到硅片清洗花篮，但是现有的硅片清洗花篮不能够适应不同直径硅片的固定清洗需要，使得现有的硅片清洗花篮适用性较差。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种硅片清洗花篮，解决了上述背景技术中提出的问题。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种硅片清洗花篮，包括花篮本体，所述花篮本体内壁的两侧均开设有连接槽，所述连接槽内部均放置有固定块，所述固定块远离连接槽的一端均固定连接有固定台，所述花篮本体靠近固定块的一侧均开设有解锁槽，所述花篮本体的内部远离解锁槽的一侧开设有移动槽，所述花篮本体的内部且位于移动槽的一侧开设有卡接槽，所述花篮本体的内部且位于解锁槽的下方开设有滑块，所述解锁槽的内腔滑动连接有解锁块，所述花篮本体内部且位于解锁槽的一侧均开设有滑动槽，所述滑动槽内腔的一侧固定连接有连接弹簧，所述连接弹簧的一端固定连接有滑块，所述滑块的一侧与解锁块的一侧固定连接，所述卡接槽内腔的一侧滑动连接有卡接柱，所述卡接柱远离固定块的一侧均固定连接有移动杆，所述卡接槽的内腔且位于移动杆的外侧滑动连接有卡接弹簧，所述移动杆远离卡接柱的一端延伸至移动杆的内部并固定连接有连接绳，所述连接绳的一端与解锁块的一侧固定连接，所述固定块靠近卡接柱的一侧开设有卡槽，所述卡接柱的一端延伸至卡槽的内部，所述固定台的内部开设有固定槽，所述固定台的顶部开设有凹槽，所述固定槽的中部固定连接有电磁铁，所述固定槽内腔的两侧均固定连接有复位弹簧，所述复位弹簧靠近电磁铁的一端均固定连接有夹板，所述夹板的顶部穿过固定槽并延伸至凹槽的上方，所述夹板位于固定槽内部的一侧均固定连接有永磁铁。

优选的，所述夹板位于凹槽上方的一侧均固定安装有橡胶垫。

优选的，所述夹板的底端与固定槽内腔的底部滑动连接，所述永磁铁与电磁铁磁性相吸。

优选的，所述花篮本体的外侧均开设有渗入孔，所述花篮本体相对应的两侧均固定安装有提手。

优选的，所述卡接柱远离移动杆一端的形状大小与卡槽的形状大小相匹配。

优选的，所述移动杆的外侧与移动槽的内部滑动连接。

本实用新型提供了一种硅片清洗花篮，具备以下有益效果：

1、该硅片清洗花篮，通过设置有永磁铁、电磁铁以及夹板，当需要固定硅片时，操作人员将硅片放置在凹槽上，操作人员通过外设控制设备启动电磁铁，电磁铁与永磁铁之间产生相吸的磁场，永磁铁带动夹板向硅片方向移动，直到将硅片固定住，本花篮能够适应不同直径硅片的固定清洗需要，本花篮的适用性较广。