[实用新型]一种碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉

摘要

本实用新型提供一种碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉。碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉，包括：炉体；两个支撑杆，两个所述支撑杆均设于所述炉体内；两个安装板，两个所述安装板固定安装在两个支撑杆的顶端和底端；两个螺纹杆，两个所述螺纹杆均转动安装在两个所述安装板上。本实用新型提供的碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉具有能够对管状基体进行有效的固定同时也能够避免支承装置不与管状基体需要沉积碳化硅涂层的外表面不与接触而完全裸露出来、使碳化硅涂层沉积均匀而不遗漏、提高产品的性能、可使输送的气体原材料能够均匀地分布、提高沉积速率、提高碳化硅涂层的致密性和均匀性、提高产品质量的优点。