[实用新型]一种半导体检测用椭偏仪有效

专利信息
申请号: 202020719488.4 申请日: 2020-05-06
公开(公告)号: CN212432965U 公开(公告)日: 2021-01-29
发明(设计)人: 郭冰冰 申请(专利权)人: 岳阳辉腾检测技术有限公司
主分类号: G01N21/21 分类号: G01N21/21;G01N21/01;G01J4/00;G01B11/06
代理公司: 长沙明新专利代理事务所(普通合伙) 43222 代理人: 叶舟
地址: 414000 湖南省岳阳市岳阳楼*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 实用新型公开了一种半导体检测用椭偏仪,包括底座,所述底座的顶部固定连接有连接块,所述连接块的背面活动连接有支撑块,所述支撑块的底部与底座的顶部活动连接,所述支撑块正面的两侧分别设置有线性偏振器和偏振分析器,所述底座的顶部固定连接有位于连接块正面的电动伸缩杆,所述电动伸缩杆的顶端固定连接有台架。本实用新型通过设置电动伸缩杆、台架、第一电机、第一齿轮、第二齿轮和固定杆,能够带动固定板转动,通过设置第二电机和固定板,能够带动放置板转动,使椭偏仪便于使用,椭偏仪不需要手动在载物台上移动半导体,不易出现产品破碎,且半导体位置可调节,避免测量误差,有利于人们的使用。
搜索关键词: 一种 半导体 检测 用椭偏仪
【主权项】:
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