[实用新型]一种半导体检测用椭偏仪

说明书

本实用新型公开了一种半导体检测用椭偏仪，包括底座，所述底座的顶部固定连接有连接块，所述连接块的背面活动连接有支撑块，所述支撑块的底部与底座的顶部活动连接，所述支撑块正面的两侧分别设置有线性偏振器和偏振分析器，所述底座的顶部固定连接有位于连接块正面的电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的顶端固定连接有台架。本实用新型通过设置电动伸缩杆、台架、第一电机、第一齿轮、第二齿轮和固定杆，能够带动固定板转动，通过设置第二电机和固定板，能够带动放置板转动，使椭偏仪便于使用，椭偏仪不需要手动在载物台上移动半导体，不易出现产品破碎，且半导体位置可调节，避免测量误差，有利于人们的使用。

技术领域

本实用新型涉及椭偏仪技术领域，具体为一种半导体检测用椭偏仪。

背景技术

椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器，由于测量精度高，适用于超薄膜，与样品非接触，对样品没有破坏且不需要真空，使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量仪器，目前常见的椭偏仪在使用时，大都通过手动在载物台上移动半导体，容易导致破碎，并且半导体的位置固定，容易出现测量误差，不利于人们的使用。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体检测用椭偏仪，具备椭偏仪便于使用的优点，解决了椭偏仪使用不方便的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体检测用椭偏仪，包括底座，所述底座的顶部固定连接有连接块，所述连接块的背面活动连接有支撑块，所述支撑块的底部与底座的顶部活动连接，所述支撑块正面的两侧分别设置有线性偏振器和偏振分析器，所述底座的顶部固定连接有位于连接块正面的电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的顶端固定连接有台架，所述台架右侧固定连接有第一电机，所述第一电机转轴的左端贯穿台架并延伸至台架的内部固定连接有第一齿轮，所述第一齿轮的表面啮合有第二齿轮，所述台架的内部活动连接有固定杆，所述固定杆的表面与第二齿轮的内壁固定连接，所述固定杆的表面固定连接有固定板，所述固定板的正面固定连接有第二电机，所述第二电机转轴的后端贯穿固定板并延伸固定板的内部固定连接有放置板。

优选的，所述固定板的内部开设有通孔，所述通孔的数量为两个。

优选的，所述底座的底部固定连接有支腿，所述支腿固定连接在底座底部的四角。

优选的，所述支撑块内部的两侧均螺纹连接有螺栓，所述螺栓的前端延伸至连接块的外部。

优选的，所述固定板的内部开设有凹槽，所述凹槽为长方形。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过设置电动伸缩杆、台架、第一电机、第一齿轮、第二齿轮和固定杆，能够带动固定板转动，通过设置第二电机和固定板，能够带动放置板转动，使椭偏仪便于使用，椭偏仪不需要手动在载物台上移动半导体，不易出现产品破碎，且半导体位置可调节，避免测量误差，有利于人们的使用。

2、本实用新型通过设置通孔，使放置板能够转动，通过设置支腿，使椭偏仪放置更稳定，通过设置螺栓，使支撑块便于固定。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型结构剖视图；

图3为本实用新型图2中A的放大结构图。

图中：1、底座；2、连接块；3、支撑块；4、线性偏振器；5、偏振分析器；6、电动伸缩杆；7、台架；8、第一电机；9、第一齿轮；10、第二齿轮；11、固定杆；12、固定板；13、第二电机；14、放置板；15、通孔；16、支腿；17、螺栓；18、凹槽。

具体实施方式