[实用新型]一种半导体检测用椭偏仪

权利要求书

1.一种半导体检测用椭偏仪，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）的顶部固定连接有连接块（2），所述连接块（2）的背面活动连接有支撑块（3），所述支撑块（3）的底部与底座（1）的顶部活动连接，所述支撑块（3）正面的两侧分别设置有线性偏振器（4）和偏振分析器（5），所述底座（1）的顶部固定连接有位于连接块（2）正面的电动伸缩杆（6），所述电动伸缩杆（6）的顶端固定连接有台架（7），所述台架（7）右侧固定连接有第一电机（8），所述第一电机（8）转轴的左端贯穿台架（7）并延伸至台架（7）的内部固定连接有第一齿轮（9），所述第一齿轮（9）的表面啮合有第二齿轮（10），所述台架（7）的内部活动连接有固定杆（11），所述固定杆（11）的表面与第二齿轮（10）的内壁固定连接，所述固定杆（11）的表面固定连接有固定板（12），所述固定板（12）的正面固定连接有第二电机（13），所述第二电机（13）转轴的后端贯穿固定板（12）并延伸固定板（12）的内部固定连接有放置板（14）。

2.根据权利要求1所述的一种半导体检测用椭偏仪，其特征在于：所述固定板（12）的内部开设有通孔（15），所述通孔（15）的数量为两个。

3.根据权利要求1所述的一种半导体检测用椭偏仪，其特征在于：所述底座（1）的底部固定连接有支腿（16），所述支腿（16）固定连接在底座（1）底部的四角。

4.根据权利要求1所述的一种半导体检测用椭偏仪，其特征在于：所述支撑块（3）内部的两侧均螺纹连接有螺栓（17），所述螺栓（17）的前端延伸至连接块（2）的外部。

5.根据权利要求1所述的一种半导体检测用椭偏仪，其特征在于：所述固定板（12）的内部开设有凹槽（18），所述凹槽（18）为长方形。