[实用新型]卷料固定装置及原子层沉积设备

摘要

本实用新型公开了一种卷料固定装置及原子层沉积设备，其中，卷料固定装置包括第一承重座、第二承重座及卷料轴，第一承重座上设置有第一安全夹头，第二承重座与第一承重座相对设置，第二承重座上设置有第二安全夹头，卷料轴具有相对的安装端及驱动端，安装端与第二安全夹头转动连接，驱动端与第一安全夹头转动连接，并用于与卷料装置的驱动件驱动连接，以使卷料轴用于对缠绕设置于其上的待沉积样品进行卷料处理。本实用新型改进了卷料固定装置的结构，提升了卷料固定装置的装配效率，方便组装卷料固定装置的各零部件，节省了装配所需的时间。