[实用新型]卷料固定装置及原子层沉积设备

权利要求书

1.一种卷料固定装置，用于原子层沉积设备，其特征在于，所述卷料固定装置包括：

第一承重座，所述第一承重座上设置有第一安全夹头；

第二承重座，与所述第一承重座相对设置，所述第二承重座上设置有第二安全夹头；

卷料轴，所述卷料轴具有相对的安装端及驱动端，所述安装端与所述第二安全夹头转动连接，所述驱动端与所述第一安全夹头转动连接，并用于与原子层沉积设备的驱动件驱动连接，以使所述卷料轴用于对缠绕设置于其上的待沉积样品进行卷料处理。

2.如权利要求1所述的卷料固定装置，其特征在于，所述第一安全夹头和所述第二安全夹头相对的一侧均开设有供所述卷料轴两端安装的安装口，所述安装口的内壁上设置有定位销，所述安装口向外凸设有抵接臂，所述抵接臂开设有导向槽；

所述卷料轴两端周壁上设置有与所述定位销相适配的凹槽，所述卷料轴的两端靠近所述凹槽位置分别环绕设置有导向块，所述定位销与所述凹槽抵接并将所述导向块卡入于所述导向槽内，以使所述卷料轴固定于所述第一安全夹头和所述第二安全夹头之间并可相对转动。

3.如权利要求2所述的卷料固定装置，其特征在于，所述第一安全夹头和第二安全夹头的外壁上套设有紧固拨盘，所述紧固拨盘外壁上插设有用于限制所述紧固拨盘相对于所述第一安全夹头和所述第二安全夹头位置的限位销；

所述紧固拨盘，用于锁紧固定所述卷料轴与所述第一安全夹头和所述第二安全夹头。

4.如权利要求2所述的卷料固定装置，其特征在于，所述导向块包括锁紧件及呈非封闭环状的夹持件，所述夹持件的形状与所述卷料轴两端对应位置形状相适配，所述夹持件的环内侧与所述卷料轴抵接并通过所述锁紧件可拆卸地锁紧固定，所述夹持件的环外侧与所述导向槽抵接，以使所述导向块卡入所述导向槽内。

5.如权利要求4所述的卷料固定装置，其特征在于，所述夹持件与所述锁紧件上设有相对设置的螺纹孔，所述夹持件与所述锁紧件螺钉连接。

6.如权利要求2所述的卷料固定装置，其特征在于，所述卷料轴两端的凹槽的数量为2组以上，所述凹槽周向均匀地环设于所述卷料轴两端的外壁上。

7.如权利要求1至6任一项所述的卷料固定装置，其特征在于，所述卷料轴为膨胀轴。

8.如权利要求7所述的卷料固定装置，其特征在于，所述膨胀轴上安装有张紧机构，所述张紧机构用于将待沉积样品紧贴于所述膨胀轴上。

9.如权利要求8所述的卷料固定装置，其特征在于，所述张紧机构包括：

本体，开设有安装腔及容置槽；

丝杆，安装于所述本体的安装腔内，并通过套设于所述丝杆上的螺母限制其旋转，所述丝杆可相对所述本体沿其轴向移动；

第一楔形块，可移动地套设于所述丝杆上；

第二楔形块，安装于所述本体的外壁的容置槽内并与所述第一楔形块抵接并可相对移动；

当所述丝杆沿所述本体轴向移动时，带动所述第一楔形块沿所述本体轴向移动，所述第一楔形块推动与其抵接的所述第二楔形块沿垂直所述本体的方向移动。

10.一种原子层沉积设备，其特征在于，所述原子层沉积设备包括：

原子层沉积装置，用于对待沉积的样品进行沉积处理；

卷料固定装置，所述卷料固定装置为如权利要求1-9任一项所述的卷料固定装置，所述卷料固定装置用于安装待沉积的样品，以将待沉积的样品传输到所述原子层沉积装置中或者从所述原子层沉积装置中收回。