[实用新型]一种埋阻蚀刻设备有效
| 申请号： | 202020007257.0 | 申请日： | 2020-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN211297176U | 公开（公告）日： | 2020-08-18 |
| 发明（设计）人： | 焦鹏云;吴永恒;刘治航 | 申请（专利权）人： | 深圳市景旺电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/06 | 分类号： | H05K3/06 |
| 代理公司： | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人： | 李翔宇 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种埋阻蚀刻设备，包括设备机架，安装于设备机架的蚀刻槽，安装于设备机架且位于蚀刻槽右边的第一清洗槽，安装于设备机架且位于第一清洗槽右边的第二清洗槽，安装于蚀刻槽内壁的加热器，安装于蚀刻槽内且与加热器电性连接的第一浮球开关组件，安装于蚀刻槽内的第二浮球开关组件，与第二浮球开关组件电性连接的补水电磁阀，与蚀刻槽连接的药水循环组件，与第一清洗槽、第二清洗槽连接的鼓风组件，以及用于控制设备开关的电控箱。采用本方案的蚀刻设备，结合蚀刻工艺，解决实现加热和蚀刻温度准确管控，药水及时自动补充并可循环过滤的问题，从而实现埋阻层蚀刻品质的控制，满足更高精度埋阻蚀刻要求的制作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市景旺电子股份有限公司，未经深圳市景旺电子股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202020007257.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
