[实用新型]一种埋阻蚀刻设备

权利要求书

1.一种埋阻蚀刻设备，其特征在于，包括设备机架，安装于设备机架的蚀刻槽，安装于设备机架且位于蚀刻槽右边的第一清洗槽，安装于设备机架且位于第一清洗槽右边的第二清洗槽，安装于蚀刻槽内壁的加热器，安装于蚀刻槽内且与加热器电性连接的第一浮球开关组件，安装于蚀刻槽内的第二浮球开关组件，与第二浮球开关组件电性连接的补水电磁阀，与蚀刻槽连接的药水循环组件，与第一清洗槽、第二清洗槽连接的鼓风组件，以及用于控制设备开关的电控箱。

2.根据权利要求1所述的埋阻蚀刻设备，其特征在于，所述第一浮球开关组件包括设置于蚀刻槽上端的第一液位浮球，与第一液位浮球电性连接并且用于控制加热器工作的开关。

3.根据权利要求1所述的埋阻蚀刻设备，其特征在于，所述第二浮球开关组件包括设置于蚀刻槽下端的第二液位浮球，与第二液位浮球电性连接且用于控制补水电磁阀的开关。

4.根据权利要求1所述的埋阻蚀刻设备，其特征在于，所述药水循环组件包括设置于设备机架的循环过滤桶，用于抽出蚀刻槽内药水的立式泵，与立式泵连接且用于将蚀刻槽的药水排出至循环过滤桶的出水管，以及用于将循环过滤桶处理后的药水注入蚀刻槽的进水管。

5.根据权利要求4所述的埋阻蚀刻设备，其特征在于，所述出水管的入口以及进水管的出口均安装于蚀刻槽底部，所述出水管的入口以及进水管的出口之间设有间距。

6.根据权利要求4所述的埋阻蚀刻设备，其特征在于，所述电控箱与立式泵电性连接，用于控制所述立式泵的通电与断电。

7.根据权利要求4所述的埋阻蚀刻设备，其特征在于，所述鼓风组件包括用于向清洗槽鼓风的鼓风机以及与鼓风机输出端连接的管道，所述管道设有两个开口，用于分别向第一清洗槽、第二清洗槽鼓风。

8.根据权利要求1所述的埋阻蚀刻设备，其特征在于，所述设备机架位于蚀刻槽上方设有槽体盖。

9.根据权利要求1所述的埋阻蚀刻设备，其特征在于，所述设备机架位于蚀刻槽前方设有操作平台，所述操作平台包括长椅。

10.根据权利要求1所述的埋阻蚀刻设备，其特征在于，所述设备机架位于蚀刻槽周围设有保温层。