[发明专利]一种水冷热屏结构、单晶硅生长装置和单晶硅生长方法有效
| 申请号： | 202011561712.2 | 申请日： | 2020-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN112760709B | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 焦鹏;黄旭光;刘彬国 | 申请（专利权）人： | 晶澳太阳能有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B13/00;C30B15/00;C30B27/00;C30B27/02 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 杨倩;张效荣 |
| 地址： | 055550 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种水冷热屏结构、单晶硅生长装置和单晶硅生长方法。该水冷热屏结构包括：水冷热屏本体以及设置于水冷热屏本体内部的气冷装置，其中，气冷装置，用于将惰性气体输送至单晶硅生长区域。该水冷热屏结构能够有效地提升单晶硅生长速度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 水冷 结构 单晶硅 生长 装置 方法 | ||
【主权项】：
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