[发明专利]一种水冷热屏结构、单晶硅生长装置和单晶硅生长方法

权利要求书

1.一种水冷热屏结构，其特征在于，包括：水冷热屏本体(10)以及设置于所述水冷热屏本体(10)内部的气冷装置(20)，其中，

所述气冷装置(20)包括：气体导流结构(201)以及排气结构(202)，其中，所述排气结构(202)包括充气盘(2021)以及设置于所述充气盘(2021)上的多个排气孔(2022)，其中，

所述排气孔(2022)朝向位于所述充气盘(2021)下方的单晶硅生长区域；

所述气体导流结构(201)与所述排气结构连通，用于将外部惰性气体导入所述排气结构(202)；

所述充气盘(2021)设置于所述水冷热屏本体(10)的内壳(101)上，用于将惰性气体从多个所述排气孔(2022)分散排出。

2.根据权利要求1所述的水冷热屏结构，其特征在于，

所述排气结构(202)到所述水冷热屏本体(10)底部的距离不超过所述水冷热屏本体(10)高度的

3.根据权利要求1所述的水冷热屏结构，其特征在于，气体导流结构(201)包括：进气管(2011)，其中，

所述进气管(2011)设置于所述水冷热屏本体(10)内部，与所述充气盘(2021)连通。

4.根据权利要求3所述的水冷热屏结构，其特征在于，

所述气体导流结构(201)进一步包括：分流环路(2012)以及多个分流管(2013)，其中，

所述分流环路(2012)包括的进气口与所述进气管(2011)的一端连通；

所述多个分流管(2013)分别与所述分流环路(2012)包括的多个出气口以及所述充气盘(2021)包括的多个进气口相对应；

所述分流管(2013)的一端与相对应的所述分流环路(2012)的出气口连通；

所述分流管(2013)的另一端与相对应的所述充气盘(2021)的进气口连通。

5.根据权利要求1所述的水冷热屏结构，所述充气盘(2021)设置于所述水冷热屏本体(10)的底部。

6.根据权利要求1所述的水冷热屏结构，多个所述排气孔(2022)均布于所述充气盘(2021)上。

7.根据权利要求1所述的水冷热屏结构，所述充气盘(2021)的外表面与所述水冷热屏本体(10)的内壳(101)的内表面相贴合。

8.根据权利要求3所述的水冷热屏结构，所述进气管(2011)与所述水冷热屏本体(10)包括的进水管(103)并排设置。

9.根据权利要求3或5所述的水冷热屏结构，所述气体导流结构进一步包括：进气控制阀(2014)，其中，

所述进气控制阀(2014)与所述进气管(2011)的另一端连通，用于控制进入所述进气管(2011)的惰性气体的量。

10.根据权利要求4所述的水冷热屏结构，所述分流环路(2012)的外表面以及多个分流管(2013)的外表面与所述水冷热屏本体(10)的内壳(101)的内表面相贴合。

11.根据权利要求1、2、3至8以及10中任一所述的水冷热屏结构，进一步包括：冷却水导流装置(30)，其中，

所述冷却水导流装置(30)设置于所述水冷热屏本体(10)的内壳(101)和外壳(102)形成的空腔内；

所述冷却水导流装置(30)的进水口和出水口设置于所述水冷热屏本体(10)的内壳(101)上；

所述冷却水导流装置(30)的进水口与所述水冷热屏本体(10)包括的进水管(103)连通；

所述冷却水导流装置(30)的出水口与所述水冷热屏本体(10)包括的出水管(104)连通。