[发明专利]强化沸腾结构及其制备方法和应用在审

专利信息
申请号: 202011533169.5 申请日: 2020-12-22
公开(公告)号: CN112582361A 公开(公告)日: 2021-03-30
发明(设计)人: 张鹏;默蓬勃;伊波力;郭双江 申请(专利权)人: 曙光数据基础设施创新技术(北京)股份有限公司
主分类号: H01L23/367 分类号: H01L23/367;H01L23/467;H01L23/473;H01L23/427
代理公司: 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 董艳芳
地址: 100082 北京市海淀*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供了一种强化沸腾结构及其制备方法和应用,涉及散热技术领域,该强化沸腾结构包括导热基板、散热肋和微纳凹凸结构,散热肋位于导热基板的第一表面上,微纳凹凸结构形成于第一表面和散热肋的表面;散热肋的尺寸为微米至毫米级。该强化沸腾结构通过散热肋和微纳凹凸结构,提高了核态沸腾换热性能及电子芯片的临界热流密度,从而提高了电子芯片的散热效果。
搜索关键词: 强化 沸腾 结构 及其 制备 方法 应用
【主权项】:
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