[发明专利]高性能MEMS红外传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202011421559.3 | 申请日： | 2020-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN112551479A | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 石梦;张琛琛;毛海央;周娜 | 申请（专利权）人： | 江苏创芯海微科技有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/04 | 分类号： | B81B7/04;B81C1/00;G01J5/12 |
| 代理公司： | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人： | 韩凤 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市新区菱*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种红外传感器及其制备方法，尤其是一种高性能MEMS红外传感器及其制备方法。按照本发明提供的技术方案，所述高性能MEMS红外传感器，包括衬底，在所述衬底的正面设置正面感应吸收结构体，在所述衬底的背面设置与正面感应吸收结构体正对应的背腔；所述正面感应吸收结构体包括红外吸收层，在所述红外吸收层上设置红外吸收纳米森林，所述红外吸收纳米森林支撑在红外吸收层上。本发明具有宽谱高吸收特性，提高探测精度，与现有工艺兼容，安全可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 性能 mems 红外传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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