[发明专利]连续型锭生长装置在审
| 申请号: | 202011404336.6 | 申请日: | 2020-12-03 |
| 公开(公告)号: | CN114250513A | 公开(公告)日: | 2022-03-29 |
| 发明(设计)人: | 朴镇成;李京锡;李英俊;金漌镐;全韩雄 | 申请(专利权)人: | 韩华思路信 |
| 主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B15/02;C30B15/12;C30B15/14;C30B15/20 |
| 代理公司: | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人: | 陈万青;李雪 |
| 地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 本发明涉及连续型锭生长装置,更具体地,涉及通过使得向预备坩埚供给的固态硅材料熔融来向主坩埚进行供给并可在以不会供给漂浮在熔融状态的硅的上部的浮游物的方式进行阻断的同时调节熔融状态的硅的供给量的连续型锭生长装置。 | ||
| 搜索关键词: | 连续 生长 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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