[发明专利]具有多吸收量子阱的光伏型氮化物子带跃迁红外探测器有效
申请号: | 202011351362.7 | 申请日: | 2020-11-26 |
公开(公告)号: | CN112635615B | 公开(公告)日: | 2022-12-30 |
发明(设计)人: | 康健彬;李倩 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院电子工程研究所 |
主分类号: | H01L31/109 | 分类号: | H01L31/109;H01L31/0304;H01L31/0352 |
代理公司: | 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211 | 代理人: | 蒋斯琪 |
地址: | 621999 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了具有多吸收量子阱的光伏型氮化物子带跃迁红外探测器,该器件核心结构包括下电极接触层、有源层和上电极接触层。在单个周期的有源层中,吸收区由多个量子阱构成,输运区由耦合的多量子阱结构或体材料构成。器件工作时在吸收区中产生的光生电子进入输运区后在非对称电场的作用下可以自发迁移到下一个周期吸收区的基态能级上,在接下来的周期中重复上述过程,最终实现光‑电信号的转换。相比于传统的量子级联红外探测器,本发明提出器件吸收区采用了多个量子阱的结构,一方面单个周期的有源层对红外光子的吸收效率能大大增加,另一方面在器件设计时可以减少有源层周期数,实现器件响应度的提升和材料生长难度的降低。 | ||
搜索关键词: | 具有 吸收 量子 光伏型 氮化物 跃迁 红外探测器 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的