[发明专利]三维存储器的制备方法及气动机械装置

摘要

本申请公开了一种三维存储器的制备方法及气动机械装置。三维存储器的制备方法包括:提供预处理的晶圆，晶圆包括层叠设置的衬底及堆叠层，其中，晶圆的翘曲度大于或等于目标值；在衬底背离堆叠层的一侧形成应力层；朝面向堆叠层的方向通入保护气体，以将晶圆悬置于反应腔内；并且，通入反应腔内的保护气体的温度大于常温，以预热晶圆；以及朝面向应力层的方向输入刻蚀介质，以刻蚀应力层；其中，输入的刻蚀介质的温度大于常温，以提高刻蚀应力层的速率。本申请提供的三维存储器的制备方法，提高了刻蚀应力层的均一性。