[发明专利]一种多晶硅生长炉在审
| 申请号： | 202011244537.4 | 申请日： | 2020-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN112281212A | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 唐群煜;陆道文;汤唐正正 | 申请（专利权）人： | 无锡双雄通用机械有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B28/06 |
| 代理公司： | 无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙) 32227 | 代理人： | 顾吉云 |
| 地址： | 214181 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种多晶硅生长炉，其通过设置冷却结构对该生长炉进行冷却，从而降低了爆炸风险。其包括炉体本体，所述炉体本体的两端分别设有活动连接的左法兰盖和右法兰盖，其特征在于：所述炉体本体包括两端部密封连接的内筒体和外筒体，所述内筒体与所述外筒体之间设有螺旋形第一导流板，所述外筒体的上端和下端分别设有冷却液的进水口和出水口，所述左法兰盖和所述右法兰盖分别通过悬吊机构与所述炉体本体转动连接，所述右法兰盖的中心处及沿中心外周均匀分布有仪表放置孔，沿所述右法兰盖上还设有供反应介质进入的送料孔；所述左法兰盖的内部设有冷却结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 生长 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡双雄通用机械有限公司，未经无锡双雄通用机械有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011244537.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
