[发明专利]半导体结构及其制造方法在审
申请号: | 202011243355.5 | 申请日: | 2020-11-10 |
公开(公告)号: | CN112071899A | 公开(公告)日: | 2020-12-11 |
发明(设计)人: | 李晓锋;黄富强 | 申请(专利权)人: | 浙江里阳半导体有限公司 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L21/8232 |
代理公司: | 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 | 代理人: | 郭燕;彭家恩 |
地址: | 317600 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种半导体结构及其制造方法,其结构包括第一掺杂类型的衬底、穿通区、第一注入区以及第二注入区,穿通区、第一注入区以及第二注入区为第二掺杂类型,穿通区上定义有沟槽区,沟槽区将衬底划分为多个芯片区;第一注入区和第二注入区均与穿通区相连通。第一注入区与衬底形成PN结,第二注入区与衬底也形成PN结,又由于第一注入区和第二注入区通过穿通区连通,因此,可以在衬底中形成PN结的各种器件,该器件可以根据电路设计的需要,选择在不同位置引出电极,从而加工成为不同功能的器件,具有很强的应用灵活性,由于前序工艺固定,不必要再多设计掩膜版或其他刻蚀步骤,因此,可以提高生产效率,也可以降低制造成本。 | ||
搜索关键词: | 半导体 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
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