[发明专利]一种用于芯片制作的抽检装置

摘要

本发明涉及一种用于芯片制作的抽检装置，包括固定箱、连接箱和两个挡杆，所述固定箱的形状和连接箱的形状均为长方体，所述连接箱固定在固定箱的一侧，两个挡杆水平对称固定在连接箱顶部的两侧，所述挡杆与固定箱抵靠，所述固定箱上设有吸附机构，所述连接箱上设有清洁机构，所述吸附机构包括支撑板、移动板和至少两个传动组件，所述传动组件包括导杆、弹簧、连接线、定滑轮、支撑杆、限位块、导孔和连接孔，该用于芯片制作的抽检装置通过吸附机构提高了基板上晶片位置测量的精确度，不仅如此，还通过清洁机构实现了清除基板上杂质的功能。