[发明专利]一种光电探测器及其制作方法

摘要

本发明涉及半导体集成电路技术领域，提供了一种光电探测器及其制作方法。光电探测器区包括与N极相连的半月环形n+扩散区、与P极相连的环形p+扩散区和受光区；其中，受光区位于所述环形p+扩散区的环腔内，所述半月环形n+扩散区设置在与所述环形p+扩散区外环相差指定距离位置；电阻区包括电阻和R极，其中，电阻的两端分别连接R极和光电探测器的N极；其中，R极用于连接给光电探测器供电的管脚VAPD；光电探测器的N极还用于连接第一电容后，由第一电容的另一端完成接地，以便对管脚VAPD输入供电信号进行滤波。本发明解决了10G接入终端设备的光接收灵敏度因5G WiFi串扰而显著劣化的问题。