[发明专利]一种半导体检测装置及方法在审
| 申请号： | 202011181995.8 | 申请日： | 2020-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN112198168A | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 罗建华 | 申请（专利权）人： | 罗建华 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/88 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 朱阳波 |
| 地址： | 523808 广东省东莞市松山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开本发明提供一种半导体检测装置及方法，其中一种半导体检测装置，包括：图像采集组件；位移件：所述位移件设于所述图像采集组件的一侧；可见光组件；近红外光组件；所述可见光组件以及所述近红外光组件并排滑动设于所述位移件上。通过在所述图像采集组件的一侧设置所述位移件以及将所述可见光组件以及所述近红外光组件并排滑动设于所述位移件上，通过所述位移件上位移，以便对所述可见光以及近红外光的选择进行切换，实现对所述待检测物的外观检测以及内部检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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