[发明专利]一种半导体检测装置及方法

权利要求书

1.一种半导体检测装置，其特征在于，包括：

图像采集组件；

位移件：所述位移件设于所述图像采集组件的一侧；

可见光组件；

近红外光组件；

所述可见光组件以及所述近红外光组件并排滑动设于所述位移件上。

2.根据权利要求1所述的一种半导体检测装置，其特征在于，所述可见光组件包括可见光光源以及第一分光镜；所述近红外光组件包括近红外光光源以及第二分光镜，所述位移件为滑动件。

3.根据权利要求2所述的一种半导体检测装置，其特征在于，所述第一分光镜与所述第二分光镜相邻间隔设置，所述可见光光源、第一分光镜、第二分光镜以及近可见光光源依次并排滑动设于所述滑动件上。

4.根据权利要求2所述的一种半导体检测装置，其特征在于，还包括用于安装待检测物的安装件，所述安装件与所述图像采集组件相对设于所述滑动件的两侧。

5.根据权利要求2或3所述的一种半导体检测装置，其特征在于，所述图像采集组件包括相机以及镜头，所述镜头安装于所述相机上，所述镜头的镜片上镀有针对近红外波段和可见光波段的高透膜。

6.根据权利要求5所述的一种半导体检测装置，其特征在于，所述第一分光镜和第二分光镜分别为立方体型分束镜，所述第一分光镜的一侧面与所述第二分光镜的一侧面相对面向设置，所述滑动件的滑动方向与所述镜头的轴向垂直。

7.根据权利要求6所述的一种半导体检测装置，其特征在于，所述第一分光镜的斜面设有针对可见光波段的第一半反半透膜，所以第一分光镜至少面向所述可见光光源的一面设有可见光的第一光波段增透膜；所述第二分光镜的斜面设有针对近红外光波段的第二半反半透膜，所以第二分光镜至少面向所述近红外光光源的一面设有近红外光的第二光波段增透膜。

8.根据权利要求6所述的一种半导体检测装置，其特征在于，所述第一分光镜的高度大于所述第二分光镜的高度，所述第一分光镜与所述第二分光镜的高度差等于所述可见光折射率与所述近红外光折射率的差值与所述镜头的镜片折射率减去1的值的比值与镜头焦距的乘积再乘于0.3。

9.根据权利要求2或8所述的一种半导体检测装置，其特征在于，所述滑动件包括第一检测位以及第二检测位，当所述滑动件滑动到所述第一检测位时，所述图像采集组件、第一分光镜呈直线排列；当所述滑动件滑动到所述第二检测位时，所述图像采集组件、第二分光镜呈直线排列。

10.根据权利要求9所述的一种半导体检测装置，其特征在于，所述滑动件包括滑轨以及设于所述滑轨内的滑动部件，所述可见光光源、第一分光镜、第二分光镜以及近可见光光源依次并排设于所述滑动部件上。

11.根据权利要求2或9所述的一种半导体检测装置，其特征在于，还包括安装板，所述图像采集组件和滑动件分别设于所述安装板上。

12.根据权利要求4所述的一种半导体检测装置，其特征在于，所述安装件为机械臂。

13.一种半导体检测方法，其特征在于，包括：

获取待检测半导体的第一图像信息；

切换光组件，获取所述待检测半导体第二图像信息；

对所述第一图像信息以及第二图像信息进行分析得到所述待检测半导体的检测结果。