[发明专利]一种半导体检测装置及方法

说明书

本发明公开本发明提供一种半导体检测装置及方法，其中一种半导体检测装置，包括：图像采集组件；位移件：所述位移件设于所述图像采集组件的一侧；可见光组件；近红外光组件；所述可见光组件以及所述近红外光组件并排滑动设于所述位移件上。通过在所述图像采集组件的一侧设置所述位移件以及将所述可见光组件以及所述近红外光组件并排滑动设于所述位移件上，通过所述位移件上位移，以便对所述可见光以及近红外光的选择进行切换，实现对所述待检测物的外观检测以及内部检测。

技术领域

本发明涉及光学检测技术领域，尤其涉及一种半导体检测装置及方法。

背景技术

半导体(semiconductor)，指常温下导电性能介于导体(conductor)与绝缘体(insulator)之间的材料。半导体在收音机、电视机以及日常生活中常见的各类电子设备上有着广泛的应用。

在现有技术中，所述半导体体检测装置一般包括外观检测装置以及内部缺陷检测装置，在进行半导体检测时，需要更换不同的检测设备分别分开检测半导体的内部缺陷以及外观缺陷，增加了检测的复杂程度。

因此，现有技术还有待提升。

发明内容

为了解决现有技术中检测半导体的内部和外部需要更换设备进行检测造成检测过程复杂的问题，本发明提出一种半导体检测装置及方法，通过一个设备即可实现对半导体内部和外部的检测，使得检测过程更加方便快捷。

本发明通过以下技术方案实现的：

一方面，本发明提供一种半导体检测装置，包括：

图像采集组件；

位移件：所述位移件设于所述图像采集组件的一侧；

可见光组件；

近红外光组件；

所述可见光组件以及所述近红外光组件并排滑动设于所述位移件上。

通过设置图像采集装置采集待检测物外观图像以及内部图像，所述可见光组件同于实现采集待检测物的外观图像，所述近红外光组件用于实现采集待检测物的内部图像，通过在所述图像采集组件的一侧设置所述位移件以及将所述可见光组件以及所述近红外光组件并排滑动设于所述位移件上，通过所述位移件上位移，以便对所述可见光以及近红外光的选择进行切换，实现对所述待检测物的外观检测以及内部检测。

在本发明的其中一种实施方案中，所述可见光组件包括可见光光源以及第一分光镜；所述近红外光组件包括近红外光光源以及第二分光镜，所述位移件为滑动件。

在本发明的其中一种实施方案中，所述第一分光镜与所述第二分光镜相邻间隔设置，所述可见光光源、第一分光镜、第二分光镜以及近可见光光源依次并排滑动设于所述滑动件上。

通过将所述可见光光源、第一分光镜、第二分光镜以及近可见光光源依次并排滑动设于所述滑动件上，使得所述可见光光源、第一分光镜、第二分光镜以及近可见光光源在所述滑动件是哪个直线来回滑动即可实现可见光组件以及近红外光组件的调节，方便快捷，通过设置所述第一分光镜与所述第二分光镜相邻设置，使得所述可见光组件以及所述近红外光组件在切换是滑动的距离最小，进而提高待检测无内部检测以及外部检测的效率。

在本发明的其中一种实施方案中，还包括用于安装待检测物的安装件，所述安装件与所述图像采集组件相对设于所述滑动件的两侧。

通过设置所述安装件，用于安装待检测物，使得所述待检测物在加测过程中的位置更加稳定以及固定，使得检测结果更加准确。

在本发明的其中一种实施方案中，所述图像采集组件包括相机以及镜头，所述镜头安装于所述相机上，所述镜头的镜片上镀有针对近红外波段和可见光波段的高透膜。