[发明专利]一种降低HVPE外延膜中Si含量的镓舟结构有效
| 申请号： | 202011141095.0 | 申请日： | 2020-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN112210828B | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 董增印;张嵩;王健;程红娟;李强;程文涛 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十六研究所 |
| 主分类号： | C30B29/16 | 分类号： | C30B29/16;C30B25/02 |
| 代理公司： | 天津中环专利商标代理有限公司 12105 | 代理人： | 王凤英 |
| 地址： | 300220*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种降低HVPE外延膜中Si含量的镓舟结构。该结构为多层结构，外层为石英管，左端密封在HVPE的法兰上，起到支撑的作用；中层为两个热解氮化硼管，分别为第一热解氮化硼管和第二热解氮化硼管，防止腐蚀性气体Cl |
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| 搜索关键词： | 一种 降低 hvpe 外延 si 含量 结构 | ||
【主权项】：
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