[发明专利]物理量传感器、电子设备和移动体在审
| 申请号： | 202011139915.2 | 申请日： | 2020-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN112698054A | 公开（公告）日： | 2021-04-23 |
| 发明（设计）人： | 田中悟 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 李丹 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种物理量传感器、电子设备和移动体，物理量传感器具有：基板；以及可动体，与基板隔开空隙并与第三方向相对，且相对于基板在第三方向上位移。可动体具有：第一部分和第二部分；以及多个贯通孔，配置于第一部分和第二部分，且在第三方向上贯通。并且，在将阻尼作为C、将阻尼的最小值作为Cmin时，在从第三方向的俯视观察下，在与第一部分重叠的第一区域和与第二部分重叠的第二区域的至少一方中，满足C≤1.5×Cmin。 | ||
| 搜索关键词： | 物理量 传感器 电子设备 移动 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于精工爱普生株式会社，未经精工爱普生株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011139915.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
