[发明专利]物理量传感器、电子设备和移动体

说明书

一种物理量传感器、电子设备和移动体，物理量传感器具有：基板；以及可动体，与基板隔开空隙并与第三方向相对，且相对于基板在第三方向上位移。可动体具有：第一部分和第二部分；以及多个贯通孔，配置于第一部分和第二部分，且在第三方向上贯通。并且，在将阻尼作为C、将阻尼的最小值作为Cmin时，在从第三方向的俯视观察下，在与第一部分重叠的第一区域和与第二部分重叠的第二区域的至少一方中，满足C≤1.5×Cmin。

技术领域

本发明涉及物理量传感器、电子设备和移动体。

背景技术

例如，专利文献1记载的加速度传感器具有：基板；固定于基板的固定部；可动体，经由梁与固定部连接；以及固定检测电极，配置于基板，检测在与可动体之间产生的静电电容。并且，如果从可动体与固定检测电极重叠的方向施加加速度，则可动体以梁为旋转轴摆动，由于伴随于此可动体与固定检测电极之间的间隔变化，所以静电电容变化。因此，专利文献1记载的加速度传感器能够基于静电电容的变化来检测加速度。

专利文献1：日本特表2003-519384号公报

但是，在专利文献1记载的加速度传感器中，存在如下技术问题：由于因形成于可动体的贯通孔在可动体与固定检测电极之间产生的静电电容变小、以及可动体的摆动时产生的空气阻力，加速度的检测灵敏度降低。

发明内容

一种物理量传感器，其特征在于，将相互正交的三个方向作为第一方向、第二方向和第三方向时，所述物理量传感器具有：基板；以及可动体，与所述基板隔开空隙并与所述第三方向相对，且相对于所述基板在所述第三方向上位移，所述空隙具有第一空隙和第二空隙，所述第二空隙为所述基板与所述可动体间的分离距离比所述第一空隙大的空隙，所述可动体具有：在从所述第三方向的俯视观察下与所述第一空隙重叠的第一部分和与所述第二空隙重叠的第二部分；以及多个贯通孔，配置于所述第一部分和所述第二部分，并在所述第三方向上贯通，且从所述第三方向观察时的开口形状为正方形，在从所述第三方向的俯视观察下，在与所述第一部分重叠的第一区域和与所述第二部分重叠的第二区域的至少一方中，满足下式的关系：

C≤1.5×Cmin

其中，将所述贯通孔的所述第三方向的长度作为H、将所述可动体的沿着所述第一方向的长度的1/2的长度作为a、将所述可动体的沿着所述第二方向的长度作为L、将所述空隙的所述第三方向的长度作为h、将所述贯通孔的一边的长度作为S0、将相邻的所述贯通孔彼此的间隔作为S1、将所述空隙内的气体的粘性阻力作为μ、将在所述可动体产生的阻尼作为C时，

K(β)＝4β²-β⁴-4lnβ-3

r₀＝0.547×S0

在所述式(1)中，将满足下式时的C作为Cmin，

一种物理量传感器，其特征在于，将相互正交的三个方向作为第一方向、第二方向和第三方向时，具有：基板；以及可动体，与所述基板隔开空隙并与所述第三方向相对，且相对于所述基板在所述第三方向上位移，所述空隙具有第一空隙和第二空隙，所述第二空隙为所述基板与所述可动体间的分离距离比所述第一空隙大的空隙，所述可动体具有：在从所述第三方向的俯视观察下与所述第一空隙重叠的第一部分和与所述第二空隙重叠的第二部分；以及多个贯通孔，配置于所述第一部分和所述第二部分，在所述第三方向上贯通，且从所述第三方向观察时的开口形状为圆形，在从所述第三方向的俯视观察下，在与所述第一部分重叠的第一区域和与所述第二部分重叠的第二区域的至少一方中，满足下式的关系：