[发明专利]物理量传感器、电子设备和移动体

权利要求书

1.一种物理量传感器，其特征在于，

将相互正交的三个方向作为第一方向、第二方向和第三方向时，所述物理量传感器具有：

基板；以及

可动体，与所述基板隔开空隙并与所述第三方向相对，且相对于所述基板在所述第三方向上位移，

所述空隙具有第一空隙和第二空隙，所述第二空隙为所述基板与所述可动体间的分离距离比所述第一空隙大的空隙，

所述可动体具有：在从所述第三方向的俯视观察下与所述第一空隙重叠的第一部分和与所述第二空隙重叠的第二部分；以及多个贯通孔，配置于所述第一部分和所述第二部分，并在所述第三方向上贯通，且从所述第三方向观察时的开口形状为正方形，

在从所述第三方向的俯视观察下，在与所述第一部分重叠的第一区域和与所述第二部分重叠的第二区域的至少一方中，满足下式的关系：

C≤1.5×Cmin

其中，

将所述贯通孔的所述第三方向的长度作为H、

将所述可动体的沿着所述第一方向的长度的1/2的长度作为a、

将所述可动体的沿着所述第二方向的长度作为L、

将所述空隙的所述第三方向的长度作为h、

将所述贯通孔的一边的长度作为S0、

将相邻的所述贯通孔彼此的间隔作为S1、

将所述空隙内的气体的粘性阻力作为μ、

将在所述可动体产生的阻尼作为C时，

K(β)＝4β2-β⁴-4lnβ-3

r₀＝0.547×S0

在所述式(1)中，将满足下式时的C作为Cmin，

2.一种物理量传感器，其特征在于，

将相互正交的三个方向作为第一方向、第二方向和第三方向时，具有：

基板；以及

可动体，与所述基板隔开空隙并与所述第三方向相对，且相对于所述基板在所述第三方向上位移，

所述空隙具有第一空隙和第二空隙，所述第二空隙为所述基板与所述可动体间的分离距离比所述第一空隙大的空隙，

所述可动体具有：在从所述第三方向的俯视观察下与所述第一空隙重叠的第一部分和与所述第二空隙重叠的第二部分；以及多个贯通孔，配置于所述第一部分和所述第二部分，在所述第三方向上贯通，且从所述第三方向观察时的开口形状为圆形，

在从所述第三方向的俯视观察下，在与所述第一部分重叠的第一区域和与所述第二部分重叠的第二区域的至少一方中，满足下式的关系：

C≤1.5×Cmin

其中，

将所述贯通孔的所述第三方向的长度作为H、

将所述可动体的沿着所述第一方向的长度的1/2的长度作为a、

将所述可动体的沿着所述第二方向的长度作为L、

将所述空隙的所述第三方向的长度作为h、

将所述贯通孔的半径作为r_o、

将所述贯通孔中心间距离的一半作为r_c、

将所述空隙内的气体的粘性阻力作为μ、

将在所述可动体产生的阻尼作为C时，

K(β)＝4β²-β⁴-4lnβ-3

在所述式(1)中，将满足下式时的C作为Cmin，