[发明专利]一种亚分辨率辅助图形的获取方法

摘要

本发明公开一种亚分辨率辅助图形的获取方法，其至少包括以下步骤：提供一集成电路版图，所述集成电路版图包括多个第一图形及第一亚分辨率辅助图形；对所述第一图形进行光学邻近修正，获得多个第二图形；将所述第一亚分辨率辅助图形沿垂直于所述第二图形的方向分割为多个子图形，获得第二亚分辨率辅助图形，其中相邻所述子图形间设有第一距离；将所述子图形向所述第二图形移动第二距离，获取所述第二图形光学模型的模拟轮廓相对于所述第一图形的最小边缘位置放置误差；通过所述最小边缘位置放置误差，获得最优第二亚分辨率辅助图形。本发明解决了亚分辨率辅助图形易被曝光显影到基底上，从而降低产品良率的问题。