[发明专利]一种氧化锌基陶瓷溅射靶材的制备方法有效
| 申请号： | 202011059117.9 | 申请日： | 2020-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN112094118B | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | 丁宝文 | 申请（专利权）人： | 安徽泰龙锌业有限责任公司 |
| 主分类号： | C04B35/453 | 分类号： | C04B35/453;C04B35/622;C23C14/30;C23C14/08;C04B35/626;C04B35/63;C04B35/632 |
| 代理公司： | 合肥广源知识产权代理事务所(普通合伙) 34129 | 代理人： | 汪纲 |
| 地址： | 238200 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明属于属于氧化锌材料技术领域，尤其是一种氧化锌基溅射靶材的制备方法，制备方法简单，原料来源广泛，通过制备以氧化锌自身为主体的材料辅助粘结氧化锌纳米粉体而取得良好的靶材制备效果，过程中无需排胶，减少不必要的缺陷，因此制备方法具有工艺流程简单、易操作加工等优点，所制备的靶材具有优异的抗热震性能，致密度高、高密度、高强度氧化锌陶瓷靶材，可尽量消除陶瓷靶材表面无龟裂纹现象，烧结无气孔，制作工艺简单更加适宜满足流水线大量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化锌 陶瓷 溅射 制备 方法 | ||
【主权项】：
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