[发明专利]一种氧化锌基陶瓷溅射靶材的制备方法

权利要求书

1.一种氧化锌基溅射靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)制备氧化锌胶：称量原料，称量石菖蒲油、细辛油、月桂油、依兰油和掺杂氧化锌粉备用，其中，所述石菖蒲油：细辛油：月桂油：依兰油的体积比为1~2∶3~4∶4~6∶1~3，所述依兰油：掺杂氧化锌粉的比例mL：g为1∶47~53，还包括硬脂酸锌、橄榄油和氧化铝，其中，所述硬脂酸锌：橄榄油：氧化铝的质量比为3~4∶1~2∶4~5，所述氧化铝∶氧化锌粉的质量比为1∶67~72，将各组分均匀混合后，即得氧化锌胶；

(2)向氧化锌纳米粉体中加入其质量分数为0.1~0.2％的步骤（1）得到的氧化锌胶经20MPa~25MPa的模压，150~170℃保压1~2min，得到模压坯料；

(3)将模压坯料先以15℃/min~20℃/min的升温速率升到第一步设定温度550℃~600℃，并保温5min~10min，然后以5℃/min~10℃/min的升温速率升温到第二步烧结温度1050℃~1150℃，并保温1h~1.5h，最后以25℃/min~30℃/min的降温速率降至室温，经切断、打磨，制成氧化锌基溅射靶材。

2.根据权利要求1所述的氧化锌基溅射靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤（2）的氧化锌纳米粉体的粒径为10nm~70nm。

3.根据权利要求1所述的氧化锌基溅射靶材的制备方法，其特征在于，所述的石菖蒲油、细辛油、月桂油、依兰油含水率均为0.2~1%。

4.如权利要求1所述的氧化锌基溅射靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤（1）的掺杂氧化锌粉的粒径为10~25nm。

5.如权利要求1所述的氧化锌基溅射靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤（2）的氧化锌纳米粉体的粒径为80~100nm。

6.根据权利要求1~5任一项所述的氧化锌基溅射靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤（1）的掺杂氧化锌纳米粉的制备方法，包括步骤：

a.将掺杂稀土盐溶解到硝酸溶液中形成浓度为0.5mol/L~3mol/L的掺杂稀土盐溶液，将锌盐溶于水中形成锌盐溶液，按体积比1∶1合并加入到反应釜中，其中，掺杂稀土盐中的金属离子与锌盐中的锌离子的摩尔比为0.05~0.1∶1；

b.将沉淀剂溶解到去离子水中形成0.5mol/L~0.8mol/L的沉淀剂溶液；

c.在转速为400转/分钟~800转/分钟的，磁力搅拌下均匀滴加以5mL/min~50mL/min的速度均匀地滴加至步骤a中的反应釜中，滴加过程中保持混合体系的pH值为6.7~7.3，温度65℃~80℃，获得共沉淀产物，陈化8~12h后离心分离，并依次使用去离子水洗涤至滤液为中性，再用无水乙醇洗涤三次后于60℃烘箱中干燥5~6h后在管式炉中通氮气400℃~500℃煅烧1~2h，制得掺杂氧化锌纳米粉体；所述的掺杂稀土盐为镧盐、钇盐、铒盐、铈盐中的一种或多种。

7.根据权利要求6所述的氧化锌基溅射靶材的制备方法，其特征在于，所述的掺杂稀土盐选自硝酸镧、氯化铒、硝酸钇、硝酸铈中的一种或两种；或者，所述的锌盐选自硝酸锌、醋酸锌或氯化锌中的一种；或者，所述的沉淀剂选自聚乙烯亚胺、二乙烯基三胺或乌洛托品中的一种。