[发明专利]一种氧化锌基陶瓷溅射靶材的制备方法

说明书

本发明属于属于氧化锌材料技术领域，尤其是一种氧化锌基溅射靶材的制备方法，制备方法简单，原料来源广泛，通过制备以氧化锌自身为主体的材料辅助粘结氧化锌纳米粉体而取得良好的靶材制备效果，过程中无需排胶，减少不必要的缺陷，因此制备方法具有工艺流程简单、易操作加工等优点，所制备的靶材具有优异的抗热震性能，致密度高、高密度、高强度氧化锌陶瓷靶材，可尽量消除陶瓷靶材表面无龟裂纹现象，烧结无气孔，制作工艺简单更加适宜满足流水线大量生产。

技术领域

本发明属于氧化锌材料技术领域，尤其是一种氧化锌基陶瓷溅射靶材的制备方法。

背景技术

电子束蒸镀及其衍生的反应等离子体沉积则需要具有较好耐热冲击能力的陶瓷蒸发原材料。电子束蒸发的原材料可以是较小的颗粒，或者大的块体。若使用小颗粒堆积在一起蒸发时，会影响气化时气体的散射，影响薄膜的均匀性。因此，开发了大的块体蒸发材料。高质量靶材需要高的纯度、均匀性、致密度、电导率与较好的强度及较大的尺寸。为了提升蒸镀靶材的抗热冲击能力，可以降低靶材的致密度来释放热应力，例如授权公告号为CN102731068B的专利所公开的低密度的ITO蒸镀靶材。但是，通过简单的降低蒸镀材料的密度，虽然可以释放部分的热应力，降低陶瓷在高能电子束轰击时的开裂可能性，但由于结合强度不够，并不能达到完全避免开裂的要求，但目前的氧化锌蒸镀靶材的制备方法普遍采用“胶”，制备过程中需要排胶，而胶又是重要的成型组成部分，无胶则难以成型，性能更加不好，往往通过排胶、提纯等来控制，但收效甚微，例如CN104987060B公开了具有骨架网络结构的氧化锌蒸镀靶材的制备方法，但制备工艺使用了聚乙烯醇的粘接剂，需要排胶，受到极大的限制和制约，仍然具有适用性不强，工艺复杂的缺陷，中国专利CN102924077A公开了用新型低毒凝胶浇注制备大尺寸氧化锌基靶材的方法，使用预混液包括甲基丙烯酰胺、N,N′-二亚甲基双丙烯酰胺、聚丙烯酸铵和水，在引发剂的作用下凝固形成高强度的生坯，实质是预混液聚合形成聚丙烯酰胺的聚合物，仍然没有解决需要排胶的难题，仍然要进行多段温度曲线形式的高温排胶，才能得到素坯，本领域技术人员为解决上述问题，亟待开发一种氧化锌基陶瓷溅射靶材的制备方法以满足现有的市场需求和性能要求。

发明内容

针对上述问题，本发明旨在提供一种氧化锌基陶瓷溅射靶材的制备方法。

本发明通过以下技术方案实现：

一种氧化锌基溅射靶材的制备方法，包括以下步骤：

（1）制备氧化锌胶：称量原料，称量石菖蒲油、细辛油、月桂油、依兰油和掺杂氧化锌粉备用，其中，所述石菖蒲油：细辛油：月桂油：依兰油的体积比为1~2∶3~4∶4~6∶1~3，所述依兰油：掺杂氧化锌粉的比例mL：g为1∶47~53，还包括硬脂酸锌、橄榄油和氧化铝，其中，所述硬脂酸锌：橄榄油：氧化铝的质量比为3~4∶1~2∶4~5，所述氧化铝∶氧化锌粉的质量比为1∶67~72，将各组分均匀混合后，即得氧化锌胶；

石菖蒲油提取自天南星科植物石菖蒲的根、茎，具有化湿开胃、开窍豁痰、醒神益智之功效，石菖蒲油中主要成分为β-细辛醚、α-细辛醚、顺式甲基异丁香酚、龙脑、α-萜莆品醇、β-石竹烯、反式甲基异丁香酚，是一种挥发性油，常应用在化妆品、食品、医疗、饲料等领域。

细辛油系乌兜铃科植物细辛，全草所含的挥发油。细辛产于辽宁、吉林、黑龙江等地，来源广泛，现代临床用于治疗风寒头痛，风湿性关节炎等，主要成分为β蒎烯、龙脑、桉叶素、黄樟素等。

月桂油是由多香果属植物月桂叶经蒸馏得到的一种挥发性油。月桂油为黄色或淡褐色的油状液体，具有令人愉快的芳香气和刺激性辛辣气味，芳樟醇、肉桂醛、β-石竹烯、葎草烯等为其主要成分。

依兰油，主要成分是芳樟醇、香叶醇、松油醇、橙花醇、金合欢醇、香叶醇、乙酸芳樟酯、乙酸香叶酯等，也是一种挥发性油，主要用于食品、香皂、润肤乳液的生产。