[发明专利]发光二极管外延片及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202011040882.6 申请日: 2020-09-28
公开(公告)号: CN112186083B 公开(公告)日: 2021-11-05
发明(设计)人: 姚振;从颖;董彬忠;李鹏 申请(专利权)人: 华灿光电(苏州)有限公司
主分类号: H01L33/14 分类号: H01L33/14;H01L33/26;H01L33/00
代理公司: 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 代理人: 吕耀萍
地址: 215600 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 本公开提供了一种发光二极管外延片及其制备方法,属于发光二极管技术领域。第一GaN层、第二GaN层及第三GaN层均掺杂有n型杂质,用于提供用于复合的电子。电子在第一石墨烯层与第二石墨烯层中也具有较高的迁移速率。电子的迁移速率得到增加,进入有源层的电子的速率增加,因此可以将n型层中的n型杂质的浓度减小至6E17~8E18/cm‑3。电子迁移速率加快,弥补第一GaN层、第二GaN层及第三GaN层中因n型杂质的减少而带来的电子总量的减少,不会影响发光二极管的发光效率。而n型杂质的减少会使得第一GaN层、第二GaN层及第三GaN层的晶体质量提高,最终有效提高有源层的发光效率。
搜索关键词: 发光二极管 外延 及其 制备 方法
【主权项】:
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