[发明专利]传送机械手有效
| 申请号： | 202011029264.1 | 申请日： | 2020-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN111933564B | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 周亮 | 申请（专利权）人： | 北京京仪自动化装备技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 李文丽 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及半导体加工技术领域，提供一种传送机械手，包括：基体、电源、静电发生装置和换向部件，基体包括用于支撑晶圆的支撑部；电源包括正极端和负极端；静电发生装置连接于电源，静电发生装置包括正电荷端头和电子端头，正电荷端头和电子端头均设于支撑部；换向部件设于电源与静电发生装置之间，换向部件处于第一状态，正电荷端头连接正极端，电子端头连接负极端；换向部件处于第二状态，正电荷端头连接负极端，电子端头连接正极端。本发明提出的传送机械手，利用库仑力对晶圆进行吸附，可实现多种规格的晶圆的传送，还可通过换向部件消除残余的库仑力，可降低生产成本并减小对晶圆的损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 传送 机械手 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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