[发明专利]一种高灵敏度MEMS流量传感器芯片有效
| 申请号： | 202010979042.X | 申请日： | 2020-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN112146717B | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 胡国庆 | 申请（专利权）人： | 青岛芯笙微纳电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/684 | 分类号： | G01F1/684;G01F1/688 |
| 代理公司： | 青岛华慧泽专利代理事务所(普通合伙) 37247 | 代理人： | 刘娜 |
| 地址： | 266100 山东省青岛市崂山*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种高灵敏度MEMS流量传感器芯片，包括设置于微加热器底部的底层介质薄膜、设置于底层介质薄膜下方的硅衬底，以及设置于底层介质薄膜上方、微加热器两侧的热电堆，所述热电堆包括上下堆叠串联的多对热电偶，每对热电偶包括上下放置的P型硅和N型硅，以及用于连接P型硅和N型硅的金属热结，所述金属热结位于P型硅和N型硅上靠近微加热器的一端；每对热电偶的P型硅和N型硅之间，以及相邻的热电偶之间均设置用于电隔离的中间介质薄膜。本发明所公开的流量传感器芯片在不增加芯片面积的情况下，增加热电偶的数目，提高热电堆的灵敏度，进而实现MEMS流量传感器芯片的信噪比和检测精度输出。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 灵敏度 mems 流量传感器 芯片 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于青岛芯笙微纳电子科技有限公司，未经青岛芯笙微纳电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010979042.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
