[发明专利]电子元件的接合结构及其制造方法在审
申请号: | 202010899175.6 | 申请日: | 2020-08-31 |
公开(公告)号: | CN114121691A | 公开(公告)日: | 2022-03-01 |
发明(设计)人: | 许家福;杨凯铭;林溥如;柯正达 | 申请(专利权)人: | 欣兴电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;H01L23/488 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 张娜;臧建明 |
地址: | 中国台湾桃*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供一种电子元件的接合结构的制造方法包括以下步骤。提供包括第一导电接合部的第一电子组件。提供包括第二导电接合部的第二电子组件。形成第一有机高分子层于第一导电接合部上。形成第二有机高分子层于第二导电接合部上。通过第一导电接合部与第二导电接合部接合第一电子组件与第二电子组件,以使第一电子组件与第二电子组件电性连接。进行接合后第一有机高分子层与第二有机高分子层扩散至第一导电接合部与第二导电接合部内。另提供一种电子元件的接合结构。 | ||
搜索关键词: | 电子元件 接合 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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